| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-13页 |
| ·研制背景 | 第11页 |
| ·课题来源 | 第11页 |
| ·课题意义 | 第11-13页 |
| 第二章 国内外相关研究现状 | 第13-15页 |
| ·国外研究现状 | 第13页 |
| ·国内研究现状 | 第13页 |
| ·机器视觉技术在曝光机中的应用 | 第13-15页 |
| 第三章 研究目标和内容 | 第15-23页 |
| ·研究目标 | 第15-16页 |
| ·性能表 | 第15页 |
| ·功能表 | 第15-16页 |
| ·研究内容 | 第16-23页 |
| ·系统构成 | 第16-18页 |
| ·机器视觉在曝光机板与底片对位方面的应用与开发 | 第18-19页 |
| ·运动控制与驱动： | 第19-20页 |
| ·软 PLC、分布式 I/O 组态 | 第20页 |
| ·OPC 交换变量模式实现 PLC 与人机界面模块数据交换 | 第20-21页 |
| ·曝光能量控制 | 第21页 |
| ·灯源系统 | 第21页 |
| ·对位平台 | 第21-22页 |
| ·冷却系统 | 第22-23页 |
| 第四章 关键技术和解决方案 | 第23-42页 |
| ·系统总体解决方案 | 第23页 |
| ·基于 PC 的自动化及西门子软 PLC | 第23-25页 |
| ·基于 PC 的自动化定义 | 第23页 |
| ·基于 PC 自动化的优点 | 第23-24页 |
| ·WinLC RTX： | 第24-25页 |
| ·界面模块与软 PLC 的数据交换： | 第25-27页 |
| ·PC 数据存取规范 | 第26-27页 |
| ·动化接口方式下的 OPC 客户端程序的实现 | 第27页 |
| ·高精密光路系统设计 | 第27页 |
| ·光能量的精确控制 | 第27-29页 |
| ·UV 能量控制方案 | 第27页 |
| ·光计能量控制硬件实现框图 | 第27-29页 |
| ·对位步进运动控制 | 第29-33页 |
| ·概述 | 第29页 |
| ·步进控制系统介绍 | 第29-31页 |
| ·电流、细分拨码开关设定和参数自整定 | 第31-32页 |
| ·输入电压和输出电流的选用 | 第32-33页 |
| ·图像处理识别、对位原理及算法 | 第33-39页 |
| ·对位靶图像获取 | 第33-35页 |
| ·对位原理 | 第35-37页 |
| ·技术指标 | 第37-38页 |
| ·算法原理 | 第38-39页 |
| ·运动控制 | 第39页 |
| ·平行光光路形成、检测机理，台面光均匀度测试 | 第39-41页 |
| ·具有 CCD 自动对位功能的双玻璃晒架设计 | 第41-42页 |
| 第五章 系统控制软件设计 | 第42-59页 |
| ·界面控制程序设计 | 第43-49页 |
| ·界面控制程序模块组成 | 第44页 |
| ·界面控制程序开发平台 | 第44-45页 |
| ·界面控制编程 | 第45-49页 |
| ·PLC 控制程序 | 第49-54页 |
| ·PLC 从站系统框图 | 第49-50页 |
| ·PLC 输入输出需求分析 | 第50页 |
| ·PLC 控制程序开发平台及硬件组态 | 第50-52页 |
| ·PLC 程序模块组成 | 第52页 |
| ·SOFT PLC 控制的开发设计 | 第52页 |
| ·PROFIBUS DP 通信 | 第52-53页 |
| ·ET200S | 第53-54页 |
| ·运动控制程序 | 第54-55页 |
| ·雷赛控制卡机器控制系统架构 | 第54页 |
| ·编写运动控制软件典型流程 | 第54页 |
| ·Visual Basic 6.0 环境下的软件开发 | 第54-55页 |
| ·图像处理程序 | 第55-59页 |
| ·光源 | 第55-56页 |
| ·镜头 | 第56页 |
| ·相机 | 第56-57页 |
| ·视频采集卡 | 第57页 |
| ·视觉软件 | 第57-59页 |
| 第六章 程序调试及整机测试 | 第59-76页 |
| ·自动 CCD 对位曝光机控制系统框图： | 第59-60页 |
| ·自动 CCD 对位曝光机工作流程： | 第60-61页 |
| ·PLC 程序调试 | 第61-63页 |
| ·站组态测试 | 第61-62页 |
| ·PLC 程序调试 | 第62-63页 |
| ·图像识别处理模块调试 | 第63-66页 |
| ·装载底片 | 第63-64页 |
| ·底片长度超差测量 | 第64页 |
| ·靶标粗调 | 第64-65页 |
| ·手动调整及自动对位获得校正参数 | 第65页 |
| ·对位 OK | 第65-66页 |
| ·运动控制程序调试 | 第66-70页 |
| ·在 Windows 2000/XP 操作系统环境安装运动控制卡 | 第66-68页 |
| ·Motion1000 步进系统测试软件 | 第68-70页 |
| ·整机功能联合调试 | 第70-74页 |
| ·开机画面 | 第71页 |
| ·密码管理 | 第71页 |
| ·参数设置画面 | 第71-72页 |
| ·内层曝光 | 第72页 |
| ·数据记录 | 第72-73页 |
| ·点灯 | 第73-74页 |
| ·整机功能及性能测试 | 第74-76页 |
| ·整机功能测试 | 第74页 |
| ·整机性能指标测试 | 第74-76页 |
| 第七章 结论和展望 | 第76-78页 |
| ·本论文研究总结 | 第76页 |
| ·研究成果形式及创新点 | 第76页 |
| ·技术指标： | 第76页 |
| ·该机型研制成功的社会意义 | 第76页 |
| ·前景展望 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-81页 |
| 攻硕期间取得的成果 | 第81-82页 |
| 附录 1 OPC 通讯 VB 程序部分代码 | 第82-92页 |
| 附录 2 图像处理程序部分代码 | 第92-137页 |
