| 目录 | 第1-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 引言 | 第5-17页 |
| ·光学邻近效应修正(OPC) | 第5-7页 |
| ·为什么要做OPC修正 | 第7-9页 |
| ·OPC的实现 | 第9-11页 |
| ·OPC的修正方案 | 第11-14页 |
| ·OPC的发展演变 | 第14-16页 |
| ·论文的组织结构 | 第16-17页 |
| 第二章 辅助图形的实现 | 第17-25页 |
| ·简化的次分辨率辅助图形实现方法 | 第17-20页 |
| ·实验结果 | 第20-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 第三章 基于制程窗口的MOPC | 第25-39页 |
| ·PWMOPC模型的理论基础 | 第25-34页 |
| ·矢量薄膜模型 | 第25-29页 |
| ·PWMOPC模型的由来 | 第29-32页 |
| ·PWMOPC模型中关键参数的定义 | 第32-34页 |
| ·包含辅助图形PWMOPC模型的操作方法 | 第34-36页 |
| ·实验结果 | 第36-37页 |
| ·本章小结 | 第37-39页 |
| 第四章 结论和展望 | 第39-40页 |
| 参考文献 | 第40-47页 |
| 致谢 | 第47-48页 |