| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·主要键合材料介绍 | 第10-12页 |
| ·金线 | 第10-11页 |
| ·铝线 | 第11页 |
| ·铜线 | 第11-12页 |
| ·键合工艺技术的介绍 | 第12-14页 |
| ·超声键合 | 第12页 |
| ·热压键合 | 第12页 |
| ·热超声键合 | 第12-14页 |
| ·铜线键合工艺的应用前景 | 第14-15页 |
| ·本课题来源及研究目的 | 第15-16页 |
| ·本课题研究来源 | 第15页 |
| ·本课题研究目的 | 第15-16页 |
| 第二章 铜线键合技术的优劣 | 第16-26页 |
| ·铜线键合技术概况 | 第16-17页 |
| ·发展铜线键合工艺的优势 | 第17-22页 |
| ·铜线的成本优势 | 第17-18页 |
| ·铜线的性能优势 | 第18-22页 |
| ·铜线键合工艺的问题 | 第22-24页 |
| ·铜线的硬度问题 | 第22-23页 |
| ·铜线的氧化问题 | 第23-24页 |
| ·总结 | 第24-26页 |
| 第三章 铜线键合技术设备问题的研究与解决 | 第26-45页 |
| ·金线设备升级铜线的问题研究 | 第26-38页 |
| ·铜球的防氧化设计 | 第26-35页 |
| ·防氧化气体的比例 | 第26-29页 |
| ·防氧化气体出口管路设计 | 第29-32页 |
| ·防氧化气体的流量研究 | 第32-35页 |
| ·铜线线夹的升级 | 第35-36页 |
| ·铜线键合的打火系统研究 | 第36-38页 |
| ·金线设备转铜线的升级与改造 | 第38-44页 |
| ·硬件设施的准备与安装 | 第38-39页 |
| ·铜线键合系统的校正 | 第39-44页 |
| ·超声功率的校正 | 第39-40页 |
| ·键合压力的校正 | 第40-41页 |
| ·线夹张力的校正 | 第41-42页 |
| ·轴运动控制的校正 | 第42-44页 |
| ·研究总结 | 第44-45页 |
| 第四章 铜线键合技术工艺问题的研究与解决 | 第45-67页 |
| ·铜线键合的失效模式的研究 | 第45-49页 |
| ·铜线键合的自由空气球参数研究 | 第49-55页 |
| ·EFO Current 和FAB Size 对铜球的影响 | 第49-51页 |
| ·EFO GAP 对铜球的影响 | 第51-52页 |
| ·Tail Extension 对铜球的影响 | 第52-55页 |
| ·铜线键合工艺的焊接参数研究 | 第55-66页 |
| ·焊盘键合问题及参数的实验研究 | 第55-61页 |
| ·铜线硬度的影响 | 第55-56页 |
| ·焊接参数的影响 | 第56-59页 |
| ·焊接温度的影响 | 第59-60页 |
| ·研究小结 | 第60-61页 |
| ·引脚键合问题及实验研究 | 第61-66页 |
| ·二点焊接参数的影响 | 第61-63页 |
| ·焊接工具-劈刀的影响 | 第63-65页 |
| ·焊接温度的影响 | 第65-66页 |
| ·研究总结 | 第66-67页 |
| 第五章 铜线键合破坏性测试的评估 | 第67-72页 |
| ·焊球剪切力测试及结果分析 | 第67-69页 |
| ·引线拉力测试及结果分析 | 第69-70页 |
| ·研究总结 | 第70-72页 |
| 第六章 论文总结和对铜线键合技术的展望 | 第72-75页 |
| ·本论文研究总结 | 第72-74页 |
| ·铜线键合技术前景展望 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-78页 |
| 作者攻硕期间取得的成果 | 第78-79页 |