| 第一章 绪论 | 第1-14页 |
| 1． 1 GaAs集成电路的发展 | 第9-10页 |
| 1． 2 GaAs集成电路的发展现状 | 第10-11页 |
| 1． 3 GaAs单片集成电路与分立电路的比较 | 第11-12页 |
| 1． 4 论文的主要工作 | 第12-14页 |
| 第二章 GaAs集成电路技术 | 第14-31页 |
| 2． 1 有源器件 | 第14-18页 |
| 2． 1． 1 异质结有源器件 | 第14页 |
| 2． 1． 2 MESFET结构和特性 | 第14-17页 |
| 2． 1． 3 频率特性 | 第17-18页 |
| 2． 2 无源元件及制造技术 | 第18-26页 |
| 2． 2． 1 电容 | 第18-21页 |
| 2． 2． 2 电感 | 第21-26页 |
| 2． 3 砷化镓集成电路工艺流程 | 第26-31页 |
| 2． 3． 1 台面挖槽器件工艺流程 | 第27页 |
| 2． 3． 2 用于数字电路的难熔栅FET的制作工艺 | 第27-28页 |
| 2． 3． 3 微波集成电路工艺流程 | 第28-29页 |
| 2． 3． 4 GaAs数字集成电路工艺流程 | 第29-31页 |
| 第三章 GaAs数字电路设计理论 | 第31-39页 |
| 3． 1 BFL单元 | 第31-35页 |
| 3． 1． 1 电路形式 | 第31-32页 |
| 3． 1． 2 电路传输特性分析 | 第32-34页 |
| 3． 1． 3 考虑其他参数时电路特性的变化 | 第34-35页 |
| 3． 2 SDFL单元 | 第35-37页 |
| 3． 3 DCFL单元 | 第37页 |
| 3． 4 小结 | 第37-39页 |
| 第四章 GaAs射频开关设计及分频器设计 | 第39-58页 |
| 4． 1 GaAs FET开关 | 第39-45页 |
| 4． 2 各种形式的FET开关及设计方法 | 第45-50页 |
| 4． 2． 1 各种设计形式的射频开关 | 第45-49页 |
| 4． 2． 2 小结 | 第49-50页 |
| 4． 3 GaAs分频器的设计 | 第50-56页 |
| 4． 3． 1 电路分析 | 第50-54页 |
| 4． 3． 2 仿真结果 | 第54-56页 |
| 4． 3 小结 | 第56-58页 |
| 第五章 结束语 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 攻读硕士期间参加的科研项目和完成的学术论文 | 第64页 |