基于IC装备中的静电卡盘静电力仿真及实验研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-29页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第10-12页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第10-11页 |
| 1.1.2 研究意义 | 第11-12页 |
| 1.2 静电卡盘设备概述 | 第12-16页 |
| 1.2.1 静电卡盘简介 | 第12-14页 |
| 1.2.2 静电卡盘分类 | 第14-16页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第16-27页 |
| 1.3.1 国内研究现状 | 第16-22页 |
| 1.3.2 国外研究现状 | 第22-27页 |
| 1.4 问题的提出 | 第27页 |
| 1.5 论文的主要研究内容 | 第27-29页 |
| 第2章 静电卡盘建模及静电力仿真 | 第29-50页 |
| 2.1 静电力仿真软件的选择 | 第29-30页 |
| 2.2 静电力仿真模型的建立 | 第30-34页 |
| 2.2.1 静电力理论模型 | 第30-32页 |
| 2.2.2 几何模型的建立 | 第32-33页 |
| 2.2.3 模型网格划分 | 第33-34页 |
| 2.3 模型求解 | 第34-35页 |
| 2.3.1 边界条件的设置 | 第34-35页 |
| 2.3.2 基本假设 | 第35页 |
| 2.4 静电力仿真结果与文献对比 | 第35-38页 |
| 2.4.1 仿真结果 | 第35-37页 |
| 2.4.2 仿真结果与文献对比 | 第37-38页 |
| 2.5 静电力影响因素分析 | 第38-48页 |
| 2.5.1 仿真模型的建立 | 第38-40页 |
| 2.5.2 单一因素的改变对静电力的影响分析 | 第40-44页 |
| 2.5.3 多参数综合作用对静电力的影响分析 | 第44-48页 |
| 2.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第3章 静电力测量系统设计与研制 | 第50-65页 |
| 3.1 静电卡盘静电力测量技术简介 | 第50-55页 |
| 3.2 静电力测量环境分析及总体方案设计 | 第55-57页 |
| 3.2.1 测量环境分析 | 第55-57页 |
| 3.2.2 测量系统总体结构设计 | 第57页 |
| 3.3 测量装置各部分结构设计 | 第57-64页 |
| 3.3.1 动力机构设计 | 第58-60页 |
| 3.3.2 传感测量机构设计 | 第60-61页 |
| 3.3.3 传动连接机构设计 | 第61-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第4章 静电卡盘系统设计与研制 | 第65-73页 |
| 4.1 静电卡盘总体结构设计 | 第65页 |
| 4.2 静电卡盘各部分结构设计 | 第65-70页 |
| 4.2.1 绝缘层的设计与研制 | 第65-66页 |
| 4.2.2 电极设计与研制 | 第66-67页 |
| 4.2.3 陶瓷基板设计与研制 | 第67页 |
| 4.2.4 表面介电层选材及加工 | 第67-69页 |
| 4.2.5 晶片的选型 | 第69页 |
| 4.2.6 电源的选型 | 第69-70页 |
| 4.3 静电卡盘的组装 | 第70-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 静电卡盘静电力实验研究 | 第73-84页 |
| 5.1 测量平台的搭建 | 第73-75页 |
| 5.2 实验流程 | 第75-76页 |
| 5.3 实验结果分析 | 第76-81页 |
| 5.4 实验数据与仿真结果对比 | 第81-83页 |
| 5.4.1 静电力仿真结果 | 第81-82页 |
| 5.4.2 静电力实验结果与仿真结果对比 | 第82-83页 |
| 5.5 本章小结 | 第83-84页 |
| 第6章 总结与展望 | 第84-86页 |
| 6.1 论文完成的主要工作 | 第84-85页 |
| 6.2 论文的创造性研究成果 | 第85页 |
| 6.3 后续工作展望 | 第85-86页 |
| 致谢 | 第86-87页 |
| 参考文献 | 第87-90页 |
| 个人简历、在学期间的研究成果 | 第90页 |
