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集成微流道的巨磁电阻(GMR)生物传感器研究

摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
第一章 绪论第10-17页
    1.1 巨磁电阻效应第10-12页
    1.2 GMR 生物传感器第12-15页
        1.2.1 GMR 生物传感器原理第12-13页
        1.2.2 GMR 生物传感器的发展第13-15页
    参考文献第15-17页
第二章 GMR 多层膜的制备与测试第17-23页
    2.1 GMR 多层膜的制备第17-18页
    2.2 GMR 多层膜的测试第18-20页
    2.3 GMR 多层膜的性质第20-22页
    2.4 本章小结第22页
    参考文献第22-23页
第三章 GMR 器件的制备第23-32页
    3.1 基本GMR器件的制备第23-28页
        3.1.1 GMR 线条的制作第23-24页
        3.1.2 导线的制作第24-25页
        3.1.3 氮化硅保护层的制作第25-27页
        3.1.4 电极的制作第27-28页
    3.2 GMR 传感器与微流道的集成第28-30页
        3.2.1 制作 SU-8 微流道第28页
        3.2.2 灌注 PDMS第28-29页
        3.2.3 封装微流道第29-30页
    3.3 本章小结第30-31页
    参考文献第31-32页
第四章 GMR 器件的测试与磁珠感应磁场的模拟计算第32-44页
    4.1 GMR 器件的测试第32-35页
        4.1.2 GMR 器件的水平测试第33-34页
        4.1.3 GMR 器件的垂直测试第34-35页
    4.2 磁珠感应磁场的模拟计算第35-42页
        4.2.1 磁场的模拟计算第35-41页
        4.2.2 实验结果第41-42页
        4.2.3 结论第42页
    4.3 本章小结第42-43页
    参考文献第43-44页
第五章 铁磁流体的检测第44-50页
    5.1 测试过程第44-47页
    5.2 测试结果与分析第47-49页
    5.3 本章小结第49页
    参考文献第49-50页
第六章 总结与展望第50-51页
致谢第51-52页
攻读学位期间已发表或录用的论文第52页

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