| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第12-20页 |
| 1.1 微机电系统简介 | 第12-14页 |
| 1.2 声表面波器件微驱动简介 | 第14-16页 |
| 1.3 声表面波器件的国内外研究水 平与发展趋势 | 第16-19页 |
| 1.3.1 声表面波技术发展历程 | 第16-17页 |
| 1.3.2 国内外声表面波技术研究发展 | 第17-18页 |
| 1.3.3 我国声表面波技术发展历程 | 第18-19页 |
| 1.4 论文的结构安排 | 第19-20页 |
| 第二章 声表面波驱动原理及器件制造 | 第20-39页 |
| 2.1 声表面波原理和特点 | 第20-23页 |
| 2.1.1 声表面波原理 | 第20-22页 |
| 2.1.2 瑞利波的激发方式 | 第22-23页 |
| 2.2 叉指换能器 | 第23-28页 |
| 2.2.1 叉指换能器的结构 | 第23-24页 |
| 2.2.2 叉指换能器产生声表面波原理 | 第24-26页 |
| 2.2.3 叉指换能器的信号分析模型 | 第26-28页 |
| 2.3 基于声表面波的微驱动技术 | 第28-34页 |
| 2.3.1 固体驱动 | 第28-30页 |
| 2.3.2 液体驱动及相关应用技术 | 第30页 |
| 2.3.3 微粒集聚/混合 | 第30-31页 |
| 2.3.4 微流体加热 | 第31-32页 |
| 2.3.5 微流体雾化 | 第32-33页 |
| 2.3.6 声表面波对液体作用时的相互影响 | 第33-34页 |
| 2.4 声表面波器件的制造工艺 | 第34-38页 |
| 2.4.1 压电衬底材料的选择 | 第34-35页 |
| 2.4.2 SAW 器件制造工艺 | 第35-38页 |
| 2.5 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 SAW 驱动的结构参数优化设计 | 第39-51页 |
| 3.1 有限元分析基本理论 | 第39页 |
| 3.2 基于 ANSYS 的 SAW 器件的仿真 | 第39-45页 |
| 3.3 利用 MATLAB 仿真对 SAW 器件的频响应特性进行计算 | 第45-50页 |
| 3.4 本章总结 | 第50-51页 |
| 第四章 基于声表面波的固体驱动 | 第51-56页 |
| 4.1 声表面波固体驱动原理及特点 | 第51-53页 |
| 4.2 声表面波固体驱动装置 | 第53-55页 |
| 4.3 本章总结 | 第55-56页 |
| 第五章 基于声表面波的液体驱动 | 第56-63页 |
| 5.1 驱动原理 | 第56-57页 |
| 5.2 实验平台搭建 | 第57-58页 |
| 5.3 结果和讨论 | 第58-60页 |
| 5.3.1 驱动模型简化 | 第58-59页 |
| 5.3.2 实验结果 | 第59-60页 |
| 5.4 基于声表面波驱动液滴的二维数字微流体检测平台 | 第60-62页 |
| 5.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第六章 基于声表面波的液体雾化 | 第63-68页 |
| 6.1 驱动原理 | 第63-64页 |
| 6.2 结果和讨论 | 第64-67页 |
| 6.2.1 实验结果 | 第64-65页 |
| 6.2.2 理论计算 | 第65-66页 |
| 6.2.3 结果讨论 | 第66-67页 |
| 6.3 本章小结 | 第67-68页 |
| 第七章 总结与展望 | 第68-70页 |
| 7.1 总结 | 第68页 |
| 7.2 展望 | 第68-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻读硕士学位期间发表论文及申请的专利 | 第74-76页 |
| 致谢 | 第76-77页 |