用于光刻胶烘干的热板的研制
| 第一章 绪论 | 第1-15页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·热板研制的目的及意义 | 第10-12页 |
| ·热板的发展状况 | 第12-13页 |
| ·国外几种典型的热板 | 第12-13页 |
| ·国内常用的热板 | 第13页 |
| ·本文的研究背景及主要研究对象 | 第13-15页 |
| 第二章 热板的结构设计及表面温度均匀性分析 | 第15-29页 |
| ·热板的板形、加热元件和板材的选择 | 第15-17页 |
| ·热板加热元件的选择 | 第15-16页 |
| ·热板板材材料的选择 | 第16-17页 |
| ·电加热元件分布和控制方式的确定 | 第17-19页 |
| ·热分析 | 第19-27页 |
| ·采用电加热棒进行加热时的热分析 | 第19-25页 |
| ·热板温度场的有限元分析 | 第20-23页 |
| ·优化设计 | 第23-25页 |
| ·采用电阻丝进行加热时的热分析及其优化设计 | 第25-27页 |
| ·小结 | 第27-29页 |
| 第三章 热板的温度控制电路设计 | 第29-48页 |
| ·热板的温度控制系统概述 | 第29-30页 |
| ·温度测量电路的设计 | 第30-34页 |
| ·传感器的选择 | 第30-31页 |
| ·温度测量电路 | 第31-33页 |
| ·直流稳压电源设计 | 第33-34页 |
| ·控制器的设计 | 第34-42页 |
| ·数学模型的建立 | 第34-38页 |
| ·PID控制器 | 第38-42页 |
| ·PID控制的基本理论 | 第38-39页 |
| ·PID参数的初步整定 | 第39-40页 |
| ·PID控制电路的设计 | 第40-42页 |
| ·电压-脉宽变换电路 | 第42-46页 |
| ·执行机构 | 第46-47页 |
| ·固态继电器 | 第46-47页 |
| ·输出电路 | 第47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第四章 热板温度控制系统调试及误差分析 | 第48-56页 |
| ·控制系统的构成和调试目的 | 第48-49页 |
| ·系统调试实验过程 | 第49-51页 |
| ·控制实验及误差分析 | 第51-55页 |
| ·控制目标温度为90℃时的测试结果及误差分析 | 第51-53页 |
| ·控制目标温度为120℃时的测试结果及误差分析 | 第53-55页 |
| ·小结 | 第55-56页 |
| 第五章 结束语 | 第56-57页 |
| ·本文的研究成果 | 第56页 |
| ·进一步研究工作的展望 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 作者简历 | 第60-61页 |
| 攻读硕士期间发表和已录用的学术论文 | 第61页 |
