| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 第一章 绪论 | 第13-27页 |
| 第一节 微机电系统简介 | 第13-15页 |
| 第二节 高深宽比微纳结构 | 第15-23页 |
| ·高深宽比微结构 | 第15-21页 |
| ·高深宽比纳结构 | 第21-22页 |
| ·加工工艺的局限性 | 第22-23页 |
| 第三节 论文研究内容与安排 | 第23-27页 |
| ·论文研究内容 | 第23-26页 |
| ·论文安排 | 第26-27页 |
| 第二章 深反应离子刻蚀工艺模拟 | 第27-52页 |
| 第一节 深反应离子刻蚀工艺模型 | 第27-32页 |
| ·Bosch工艺 | 第27-29页 |
| ·刻蚀模型 | 第29-31页 |
| ·钝化模型 | 第31-32页 |
| 第二节 基于Voxel的工艺模拟 | 第32-42页 |
| ·基于三维数学形态学的工艺建模 | 第32-35页 |
| ·基于Voxel的DRIE工艺模拟实现 | 第35-40页 |
| ·DRIE工艺模拟结果 | 第40-42页 |
| 第三节 纳米尺度下深反应离子刻蚀工艺模拟 | 第42-51页 |
| ·干涉光刻模拟 | 第42-44页 |
| ·纳米尺度下深反应离子刻蚀模型 | 第44-47页 |
| ·纳米尺度下深反应离子刻蚀模拟结果 | 第47-51页 |
| 第四节 小结 | 第51-52页 |
| 第三章 基于深反应离子刻蚀工艺的高深宽比硅结构加工 | 第52-78页 |
| 第一节 深反应离子刻蚀 | 第52-55页 |
| ·基于Bosch技术的深反应离子刻蚀 | 第52-53页 |
| ·深反应离子刻蚀应用 | 第53-55页 |
| 第二节 基于深反应离子刻蚀工艺的微结构加工 | 第55-67页 |
| ·微米沟槽加工 | 第55-59页 |
| ·通孔加工 | 第59-62页 |
| ·纳米结构加工 | 第62-67页 |
| 第三节 基于深反应离子刻蚀工艺的微纳米复合结构加工 | 第67-77页 |
| ·实验设计 | 第68-69页 |
| ·微纳复合结构加工 | 第69-75页 |
| ·黑硅特性测试 | 第75-77页 |
| 第四节 小结 | 第77-78页 |
| 第四章 基于光电化学刻蚀工艺的高深宽比硅结构加工 | 第78-101页 |
| 第一节 电化学刻蚀 | 第78-81页 |
| ·电化学刻蚀I-V特性 | 第78-79页 |
| ·刻蚀孔分类 | 第79-80页 |
| ·化学反应 | 第80-81页 |
| 第二节 光电化学刻蚀 | 第81-84页 |
| ·光电化学刻蚀简介 | 第81-82页 |
| ·光电化学刻蚀装置 | 第82-83页 |
| ·光电化学刻蚀基本工艺流程 | 第83-84页 |
| 第三节 高深宽比通孔加工 | 第84-90页 |
| ·刻蚀初始图形转移 | 第84-85页 |
| ·通孔刻蚀 | 第85-89页 |
| ·通孔形状控制 | 第89-90页 |
| 第四节 高深宽比栅结构加工 | 第90-96页 |
| ·刻蚀初始图形转移 | 第90-91页 |
| ·高深宽比栅刻蚀 | 第91-96页 |
| 第五节 高深宽比复杂图形加工 | 第96-100页 |
| ·刻蚀初始图形转移 | 第96-99页 |
| ·高深宽比复杂结构刻蚀 | 第99-100页 |
| 第六节 小结 | 第100-101页 |
| 第五章 基于真空除气电镀工艺的高深宽比金属结构加工 | 第101-112页 |
| 第一节 金属结构加工 | 第101-102页 |
| 第二节 真空除气电镀 | 第102-105页 |
| ·微加工中的电镀工艺 | 第102-103页 |
| ·真空除气电镀 | 第103-105页 |
| 第三节 高深宽比金属结构加工 | 第105-111页 |
| ·高深宽比柱状金属结构加工 | 第105-108页 |
| ·高深宽比栅状金属结构加工 | 第108-109页 |
| ·高深宽比复杂形状金属结构加工 | 第109-111页 |
| 第四节 小结 | 第111-112页 |
| 第六章 基于高深宽比电极结构的三维锌空气微电池 | 第112-127页 |
| 第一节 三维微型电池 | 第112-118页 |
| ·背景和动机 | 第112-114页 |
| ·三维电极结构 | 第114-115页 |
| ·三维结构的特点 | 第115-118页 |
| 第二节 三维锌空气微电池 | 第118-126页 |
| ·锌空气电池 | 第118-120页 |
| ·三维锌空气微电池设计 | 第120-122页 |
| ·三维锌空气微电池加工与封装 | 第122-126页 |
| 第三节 小结 | 第126-127页 |
| 第七章 结论与展望 | 第127-129页 |
| 第一节 结论 | 第127-128页 |
| 第二节 展望 | 第128-129页 |
| 参考文献 | 第129-137页 |
| 致谢 | 第137-138页 |
| 个人简历、在学期间发表的学术论文与科研工作 | 第138-139页 |
