| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-20页 |
| 1.1 光伏产业现状及占主导地位的晶硅太阳能电池技术 | 第8-10页 |
| 1.2 金刚石线锯切割技术及其在硅片生产中的应用发展 | 第10-17页 |
| 1.2.1 传统的砂浆线锯切割技术与金刚石线锯切割技术 | 第10-14页 |
| 1.2.2 金刚石线锯切割技术在硅片生产方面的发展情况 | 第14-17页 |
| 1.3 金刚石线锯切割多晶硅片技术存在的问题 | 第17-18页 |
| 1.4 本文研究内容和目的 | 第18-20页 |
| 第2章 硅片的表观弯折弹性模量 | 第20-32页 |
| 2.1 引言 | 第20页 |
| 2.2 实验方法 | 第20-24页 |
| 2.2.1 实验设备及原理简介 | 第20-23页 |
| 2.2.2 实验样品 | 第23-24页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第24-30页 |
| 2.3.1 弹性模量的测量 | 第24-27页 |
| 2.3.2 硅晶体弹性模量的各向异性分析 | 第27-30页 |
| 2.4 本章结论 | 第30-32页 |
| 第3章 金刚石线锯切割多晶硅片的抗断裂性能 | 第32-45页 |
| 3.1 引言 | 第32-33页 |
| 3.2 实验方法 | 第33-36页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第36-44页 |
| 3.3.1 各种硅片的抗断裂性能 | 第36-39页 |
| 3.3.2 化学抛光对金刚石线锯切割多晶硅片抗断裂性能的影响 | 第39-44页 |
| 3.4 本章结论 | 第44-45页 |
| 第4章 金刚石线锯切割多晶硅片抗断裂性能的改善 | 第45-60页 |
| 4.1 引言 | 第45-46页 |
| 4.2 实验方法 | 第46页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第46-58页 |
| 4.3.1 酸刻蚀制绒的优化探索 | 第46-53页 |
| 4.3.2 退火处理的优化探索 | 第53-58页 |
| 4.4 本章结论 | 第58-60页 |
| 第5章 总结与展望 | 第60-62页 |
| 5.1 研究总结 | 第60-61页 |
| 5.2 进一步研究与开发展望 | 第61-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第67页 |
