| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-28页 |
| ·选题背景与意义 | 第11-12页 |
| ·互连线的工艺变化问题 | 第12-16页 |
| ·互连线分布参数系统 | 第12-14页 |
| ·数学建模与分析 | 第14-15页 |
| ·工艺变化问题 | 第15-16页 |
| ·互连线工艺变化问题的研究现状 | 第16-25页 |
| ·确定性模型的研究现状 | 第17-19页 |
| ·工艺变化问题的研究现状 | 第19-25页 |
| ·论文组织结构 | 第25-26页 |
| ·主要工作与创新点 | 第26-28页 |
| 2 工艺变化下互连线电容参数提取 | 第28-53页 |
| ·场区解法 | 第28-40页 |
| ·静电场基本解法 | 第28-30页 |
| ·有限元法 | 第30-37页 |
| ·有限差分法 | 第37-38页 |
| ·测度不变方程法 | 第38-39页 |
| ·实验分析 | 第39-40页 |
| ·角点奇异性处理方法 | 第40-47页 |
| ·角点奇异性问题 | 第40-41页 |
| ·邓肯校正方法 | 第41-43页 |
| ·新的角点奇异性处理方法 | 第43-46页 |
| ·数值计算 | 第46-47页 |
| ·导体尺寸变化时电容参数提取 | 第47-51页 |
| ·导体尺寸变化时的网格剖分问题 | 第47页 |
| ·非均匀网格方法 | 第47-49页 |
| ·数值计算 | 第49-51页 |
| ·本章小节 | 第51-53页 |
| 3 工艺变化下互连线的时域响应分析 | 第53-70页 |
| ·互连线随机模型 | 第53-55页 |
| ·瞬态响应 | 第55-62页 |
| ·瞬态响应数值求解 | 第56页 |
| ·偏度-峰度检验 | 第56-57页 |
| ·实验分析 | 第57-62页 |
| ·正弦稳态响应 | 第62-69页 |
| ·理论分析 | 第62-65页 |
| ·实验分析 | 第65-69页 |
| ·本章小节 | 第69-70页 |
| 4 工艺变化下互连线的延迟度量分析 | 第70-83页 |
| ·互连线电阻与电容参数 | 第70-73页 |
| ·互连线延迟分析 | 第73-77页 |
| ·互连延迟估计式 | 第73页 |
| ·一般工艺变化下的分析方法 | 第73-76页 |
| ·线宽参数变化下的延迟分析 | 第76-77页 |
| ·实验分析 | 第77-81页 |
| ·本章小节 | 第81-83页 |
| 5 互连线工艺变化的空间相关性 | 第83-104页 |
| ·工艺变化的分解与提取 | 第83-88页 |
| ·同构随机场 | 第85-87页 |
| ·非同构随机场 | 第87-88页 |
| ·连续分布参数模型分析 | 第88-96页 |
| ·卡亨南-洛伊夫展开(Karhunen-Loeve Expansion) | 第88-91页 |
| ·分布参数随机模型分析 | 第91-96页 |
| ·ABCD矩阵分析 | 第96-103页 |
| ·积分方程法 | 第96-100页 |
| ·级连方法 | 第100-103页 |
| ·本章小节 | 第103-104页 |
| 6 结束语 | 第104-106页 |
| 致谢 | 第106-107页 |
| 参考文献 | 第107-119页 |
| 附录A:博士在读期间发表和在审的论文 | 第119页 |