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集成电路的典型ESD防护设计研究

致谢第4-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-9页
缩略词表第10-14页
1 绪论第14-32页
    1.1 课题背景及意义第14-16页
    1.2 ESD模型与测试方法第16-27页
        1.2.1 人体模型(HBM)第16-20页
        1.2.2 机器模型(MM)第20-22页
        1.2.3 组件充电模型(CDM)第22-24页
        1.2.4 国际电子工业委员会标准(IEC)第24-25页
        1.2.5 传输线脉冲模型(TLP)和ESD设计窗口第25-27页
    1.3 ESD防护的国内外研究及现状第27-29页
    1.4 本论文的主要工作和组织结构第29-32页
2 低压工艺中的ESD防护研究和设计第32-52页
    2.1 基于二极管的ESD防护研究第32-37页
        2.1.1 二极管的ESD防护原理第32-34页
        2.1.2 影响二极管ESD特性的参数及达林顿效应的研究第34-37页
    2.2 基于MOSFET的ESD防护研究第37-42页
        2.2.1 GGNMOS的ESD防护原理第37-41页
        2.2.2 GGNMOS结构参数对ESD特性的影响研究第41-42页
    2.3 基于SCR的ESD防护研究第42-50页
        2.3.1 SCR的ESD防护原理第42-46页
        2.3.2 改进SCR的ESD特性的方法研究第46-50页
    2.4 本章小结第50-52页
3 高压工艺中的ESD防护设计研究第52-70页
    3.1 高压工艺中的ESD自防护研究第53-56页
        3.1.1 高压工艺中N型LDMOS的ESD特性第54-55页
        3.1.2 Kirk效应的原理和改进方法第55-56页
    3.2 高压工艺中的ESD外防护研究设计第56-68页
        3.2.1 高压工艺中作为外防护器件的LDMOS研究第56-59页
        3.2.2 高压工艺中LDMOS-SCR的ESD特性研究第59-60页
        3.2.3 高压工艺中的器件触发电压退化现象第60-66页
        3.2.4 高压器件在高温环境中的性能退化现象第66-68页
    3.3 本章小结第68-70页
4 瞬态电压抑制器(TVS)的研究设计第70-78页
    4.1 常见瞬态电压抑制器的介绍第70-72页
    4.2 多通道TVS阵列的研究与设计第72-78页
        4.2.1 多通道TVS阵列的原理和电流路径第72-74页
        4.2.2 基于二极管触发的LVTSCR的TVS阵列研究与设计第74-78页
5 总结及展望第78-82页
    5.1 总结第78-79页
    5.2 展望第79-82页
参考文献第82-90页
作者简历及在学期间所取得的科研成果第90-91页
    作者简历第90页
    发表和录用的文章第90-91页
    申请的专利第91页

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