集成电路晶圆批量测试系统的设计与实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-12页 |
| ·系统开发背景 | 第9-10页 |
| ·系统要解决的主要问题 | 第10页 |
| ·本文的主要工作 | 第10-11页 |
| ·论文的章节安排 | 第11-12页 |
| 第二章 晶圆批量测试系统相关技术 | 第12-25页 |
| ·C/S 架构 | 第12-13页 |
| ·C/S 架构介绍 | 第12-13页 |
| ·C/S 架构实现系统管理功能 | 第13页 |
| ·SQL Server | 第13-16页 |
| ·TCL 脚本技术 | 第16-18页 |
| ·TCL/TK 语言介绍 | 第16-17页 |
| ·TCL 语言开发芯片测试脚本 | 第17-18页 |
| ·测试仪通讯协议 | 第18-21页 |
| ·ISO/IEC7816-3 串行通信协议 | 第18-20页 |
| ·多通道通讯协议 | 第20-21页 |
| ·Probe 控制技术 | 第21-23页 |
| ·GPIB 接口 | 第21-23页 |
| ·测试探针台 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-25页 |
| 第三章 晶圆批量测试系统分析 | 第25-37页 |
| ·系统概述 | 第25-28页 |
| ·自动测试系统 | 第25-26页 |
| ·晶圆的测试过程 | 第26页 |
| ·晶圆的生产流程 | 第26-28页 |
| ·需求分析 | 第28-31页 |
| ·功能性需求 | 第28-29页 |
| ·非功能性需求 | 第29-31页 |
| ·技术路线及设计方法 | 第31-32页 |
| ·技术难点 | 第32-35页 |
| ·不同种类芯片的通用测试问题 | 第32-34页 |
| ·多测试仪控制的同步问题 | 第34-35页 |
| ·序列号分配问题 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第四章 晶圆批量测试系统总体设计 | 第37-44页 |
| ·系统设计思想 | 第37-38页 |
| ·系统架构设计 | 第38-39页 |
| ·生产测试系统网络拓扑 | 第39-40页 |
| ·系统功能结构设计 | 第40-43页 |
| ·各模块功能介绍 | 第40-42页 |
| ·系统程序与外界的接口介绍 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 晶圆测试功能的设计与实现 | 第44-56页 |
| ·通用测试模块的设计与实现 | 第44-48页 |
| ·通用测试模块结构定义 | 第44-45页 |
| ·TCL 语言在程序中的实现方法 | 第45-47页 |
| ·扩展指令的定义与实现 | 第47-48页 |
| ·Probe 控制模块的设计与实现 | 第48-55页 |
| ·Wafer 测试的动作流程 | 第48-50页 |
| ·Probe 基本动作指令定义 | 第50-53页 |
| ·Probe 基本消息定义 | 第53页 |
| ·Probe 控制模块的具体实现 | 第53-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第六章 生产管理功能的设计与实现 | 第56-88页 |
| ·生产工序控制的管理实现 | 第56-61页 |
| ·设计思想 | 第56页 |
| ·智能工序卡的设计实现 | 第56-58页 |
| ·工序控制数据表的设计 | 第58-60页 |
| ·工序控制的设计实现 | 第60-61页 |
| ·生产序列号管控实现 | 第61-80页 |
| ·序列号的分类 | 第61-62页 |
| ·设计思想 | 第62-63页 |
| ·流水型序列号 | 第63-68页 |
| ·组合型序列号 | 第68-74页 |
| ·离散型序列号 | 第74-80页 |
| ·生产测试数据统计分析 | 第80-86页 |
| ·生产测试数据 | 第80-82页 |
| ·数据规范化 | 第82页 |
| ·数据统计 | 第82-83页 |
| ·绘制 Map 图 | 第83-85页 |
| ·序列号检测 | 第85-86页 |
| ·生成报表 | 第86页 |
| ·本章小结 | 第86-88页 |
| 第七章 系统运行效果分析 | 第88-92页 |
| ·晶圆的通用测试 | 第88-89页 |
| ·生产管理功能 | 第89-90页 |
| ·整体运行情况 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第八章 总结与展望 | 第92-95页 |
| ·工作总结 | 第92-93页 |
| ·成果及意义 | 第93页 |
| ·进一步工作 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第98-101页 |
| 上海交通大学硕士学位论文答辩决议书 | 第101页 |
