晶圆预对准装置设计与对准算法的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-18页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·晶圆预对准装置概述 | 第11-14页 |
| ·集束型设备与设备前端模组工作流程 | 第11-12页 |
| ·预对准系统概述 | 第12-14页 |
| ·预对准装置国内外发展现状及分析 | 第14-16页 |
| ·国外晶圆预对准装置发展现状及分析 | 第14-15页 |
| ·国内晶圆预对准装置发展现状及分析 | 第15-16页 |
| ·课题来源与主要研究内容 | 第16-18页 |
| ·课题来源 | 第16页 |
| ·预对准装置技术要求与主要研究内容 | 第16-18页 |
| 第二章 预对准装置机械本体设计与分析 | 第18-33页 |
| ·引言 | 第18页 |
| ·预对准方案设计 | 第18-21页 |
| ·预对准装置设计 | 第19-21页 |
| ·机构总体结构 | 第21-22页 |
| ·视觉检测单元设计 | 第22-28页 |
| ·传感器选型 | 第22-27页 |
| ·视觉检测单元结构 | 第27-28页 |
| ·θ-Y二自由度运动单元设计 | 第28-31页 |
| ·θ向旋转平台 | 第29-30页 |
| ·Y向直线运动平台 | 第30-31页 |
| ·垂直过渡单元 | 第31-32页 |
| ·小结 | 第32-33页 |
| 第三章 预对准装置控制系统设计 | 第33-51页 |
| ·引言 | 第33-34页 |
| ·控制系统硬件组成 | 第34-50页 |
| ·运动控制系统 | 第35-43页 |
| ·真空发生模块 | 第43-44页 |
| ·电源控制电路与电控箱 | 第44-50页 |
| ·小结 | 第50-51页 |
| 第四章 晶圆形心与缺口对准算法 | 第51-61页 |
| ·引言 | 第51页 |
| ·晶圆形心定位算法 | 第51-54页 |
| ·最小二乘圆法 | 第51-52页 |
| ·质心法 | 第52-54页 |
| ·低采样点数晶圆定位拟合算法比较与分析 | 第54-58页 |
| ·线性化最小二乘圆法用于晶圆形心定位的特点 | 第54-55页 |
| ·质心法用于晶圆形心定位的特点 | 第55-56页 |
| ·低采样点算法比较与分析 | 第56-58页 |
| ·晶圆缺口定位算法 | 第58页 |
| ·晶圆缺口检测算法 | 第58页 |
| ·晶圆缺口定位算法 | 第58页 |
| ·形心与缺口最终调整量算法 | 第58-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第五章 实验测试与分析 | 第61-66页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·预对准控制及检测界面 | 第61-63页 |
| ·预对准检测实验 | 第63-64页 |
| ·测试结果 | 第64页 |
| ·结果分析 | 第64-65页 |
| ·提高定位精度方法 | 第64页 |
| ·压缩预对准时间方法 | 第64-65页 |
| ·小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第70-72页 |
