| 第一章 绪论 | 第7-21页 |
| 1.1 引言 | 第7页 |
| 1.2 MEMS的概念 | 第7-9页 |
| 1.3 微光机电系统的构成要素 | 第9-10页 |
| 1.4 微光机电系统的相关制造工艺 | 第10-12页 |
| 1.5 微光机电系统的应用及产业化前景 | 第12-13页 |
| 1.6 光开关技术的发展和应用分析 | 第13-19页 |
| 1.7 本课题的研究意义及主要研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 MEMS光开关微反射镜的制作 | 第21-36页 |
| 2.1 MEMS光开关制作的基本原理 | 第21-22页 |
| 2.2 开关结构的设计 | 第22-24页 |
| 2.3 光纤槽的设计 | 第24-25页 |
| 2.4 MEMS光开关的制作工艺研究 | 第25-31页 |
| 2.5 (100)硅片的各向异性腐蚀及微反射镜的制作 | 第31-35页 |
| 2.6 小结 | 第35-36页 |
| 第三章 扭臂结构的ANSYS分析 | 第36-49页 |
| 3.1 ANSYS概述 | 第36-38页 |
| 3.2 扭臂结构的ANSYS分析 | 第38-45页 |
| 3.3 旋转扭臂的传统设计 | 第45-48页 |
| 3.4 小结 | 第48-49页 |
| 第四章 MEMS光开关性能测试 | 第49-52页 |
| 4.1 表面粗糙度的测量 | 第49页 |
| 4.2 插入损耗的测试 | 第49-50页 |
| 4.3 串话的测试 | 第50-51页 |
| 4.4 小结 | 第51-52页 |
| 第五章 总结 | 第52-54页 |
| 参考文献 | 第54-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 摘要 | 第59-63页 |
| Abstract | 第63页 |