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ZnO基透明导电薄膜的湿化学制备

摘要第5-6页
ABSTRACT第6页
第一章 绪论第11-26页
    1.1 引言第11-12页
    1.2 ZnO的基本结构第12-13页
    1.3 ZnO薄膜的光电特性第13-15页
    1.4 ZnO薄膜湿化学制备方法第15-21页
        1.4.1 溶胶-凝胶法第15-19页
        1.4.2 喷雾热分解法第19-20页
        1.4.3 化学浴沉积法第20-21页
        1.4.4 其他制备方法第21页
    1.5 ZnO薄膜的应用第21-24页
        1.5.1 太阳能电池第22页
        1.5.2 紫外探测器第22-23页
        1.5.3 气敏传感器第23页
        1.5.4 声表面波器件第23页
        1.5.5 光催化降解污染物第23-24页
        1.5.6 光电显示器件第24页
    1.6 本论文的研究意义、创新点及研究内容第24-26页
        1.6.1 本论文的研究意义及创新点第24-25页
        1.6.2 本论文的研究内容第25-26页
第二章 ZnO:Si透明导电薄膜的溶胶-凝胶法制备第26-34页
    2.1 引言第26页
    2.2 实验第26-29页
        2.2.1 实验所需药品第26页
        2.2.2 实验过程所需设备第26-27页
        2.2.3 实验过程第27-28页
        2.2.4 ZnO:Si薄膜的表征方法第28页
        2.2.5 ZnO:Si的电子结构计算第28-29页
    2.3 结果与讨论第29-33页
        2.3.1 ZnO:Si薄膜的结构分析第29-30页
        2.3.2 ZnO:Si薄膜的透光性分析第30页
        2.3.3 ZnO:Si薄膜的导电性能分析第30-32页
        2.3.4 ZnO:Si的第一性原理计算第32-33页
    2.4 本章小结第33-34页
第三章 ZnO/Cu/ZnO多层膜的溶胶-凝胶法制备及其光电性能研究第34-43页
    3.1 引言第34页
    3.2 实验第34-36页
        3.2.1 实验所需药品第34页
        3.2.2 实验所需设备第34-35页
        3.2.3 实验过程第35-36页
        3.2.4 ZnO/Cu/ZnO多层薄膜的表征方法第36页
    3.3 实验结果与讨论第36-42页
        3.3.1 CuO、Cu、ZnO/Cu/ZnO薄膜的结构表征第36页
        3.3.2 CuO和Cu薄膜的光电性能第36-39页
        3.3.3 ZnO/Cu O/ZnO薄膜的光电性能第39-40页
        3.3.4 ZnO/Cu/ZnO薄膜的光电性能第40-42页
    3.4 本章小结第42-43页
第四章 ZnO:In透明导电薄膜的化学浴沉积及其择优取向机理第43-56页
    4.1 引言第43页
    4.2 实验第43-45页
        4.2.1 实验所用的药品第43-44页
        4.2.2 实验过程中所用的设备第44页
        4.2.3 实验过程第44-45页
        4.2.4 样品的表征第45页
    4.3 实验结果与讨论第45-55页
        4.3.1 乙醇含量对ZnO:In薄膜的影响第45-47页
        4.3.2 沉积时间对ZnO:In薄膜的影响第47-50页
        4.3.3 前驱体浓度和水浴温度对ZnO:In薄膜的影响第50-51页
        4.3.4 热处理对ZnO:In薄膜的影响第51-53页
        4.3.5 薄膜择优取向的生长机理第53-55页
    4.4 本章小结第55-56页
第五章 结论与展望第56-58页
    5.1 小结第56页
    5.2 展望第56-58页
参考文献第58-66页
致谢第66-67页
攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果第67页

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