| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 引言 | 第11-12页 |
| 1.2 ZnO的基本结构 | 第12-13页 |
| 1.3 ZnO薄膜的光电特性 | 第13-15页 |
| 1.4 ZnO薄膜湿化学制备方法 | 第15-21页 |
| 1.4.1 溶胶-凝胶法 | 第15-19页 |
| 1.4.2 喷雾热分解法 | 第19-20页 |
| 1.4.3 化学浴沉积法 | 第20-21页 |
| 1.4.4 其他制备方法 | 第21页 |
| 1.5 ZnO薄膜的应用 | 第21-24页 |
| 1.5.1 太阳能电池 | 第22页 |
| 1.5.2 紫外探测器 | 第22-23页 |
| 1.5.3 气敏传感器 | 第23页 |
| 1.5.4 声表面波器件 | 第23页 |
| 1.5.5 光催化降解污染物 | 第23-24页 |
| 1.5.6 光电显示器件 | 第24页 |
| 1.6 本论文的研究意义、创新点及研究内容 | 第24-26页 |
| 1.6.1 本论文的研究意义及创新点 | 第24-25页 |
| 1.6.2 本论文的研究内容 | 第25-26页 |
| 第二章 ZnO:Si透明导电薄膜的溶胶-凝胶法制备 | 第26-34页 |
| 2.1 引言 | 第26页 |
| 2.2 实验 | 第26-29页 |
| 2.2.1 实验所需药品 | 第26页 |
| 2.2.2 实验过程所需设备 | 第26-27页 |
| 2.2.3 实验过程 | 第27-28页 |
| 2.2.4 ZnO:Si薄膜的表征方法 | 第28页 |
| 2.2.5 ZnO:Si的电子结构计算 | 第28-29页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第29-33页 |
| 2.3.1 ZnO:Si薄膜的结构分析 | 第29-30页 |
| 2.3.2 ZnO:Si薄膜的透光性分析 | 第30页 |
| 2.3.3 ZnO:Si薄膜的导电性能分析 | 第30-32页 |
| 2.3.4 ZnO:Si的第一性原理计算 | 第32-33页 |
| 2.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 ZnO/Cu/ZnO多层膜的溶胶-凝胶法制备及其光电性能研究 | 第34-43页 |
| 3.1 引言 | 第34页 |
| 3.2 实验 | 第34-36页 |
| 3.2.1 实验所需药品 | 第34页 |
| 3.2.2 实验所需设备 | 第34-35页 |
| 3.2.3 实验过程 | 第35-36页 |
| 3.2.4 ZnO/Cu/ZnO多层薄膜的表征方法 | 第36页 |
| 3.3 实验结果与讨论 | 第36-42页 |
| 3.3.1 CuO、Cu、ZnO/Cu/ZnO薄膜的结构表征 | 第36页 |
| 3.3.2 CuO和Cu薄膜的光电性能 | 第36-39页 |
| 3.3.3 ZnO/Cu O/ZnO薄膜的光电性能 | 第39-40页 |
| 3.3.4 ZnO/Cu/ZnO薄膜的光电性能 | 第40-42页 |
| 3.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 ZnO:In透明导电薄膜的化学浴沉积及其择优取向机理 | 第43-56页 |
| 4.1 引言 | 第43页 |
| 4.2 实验 | 第43-45页 |
| 4.2.1 实验所用的药品 | 第43-44页 |
| 4.2.2 实验过程中所用的设备 | 第44页 |
| 4.2.3 实验过程 | 第44-45页 |
| 4.2.4 样品的表征 | 第45页 |
| 4.3 实验结果与讨论 | 第45-55页 |
| 4.3.1 乙醇含量对ZnO:In薄膜的影响 | 第45-47页 |
| 4.3.2 沉积时间对ZnO:In薄膜的影响 | 第47-50页 |
| 4.3.3 前驱体浓度和水浴温度对ZnO:In薄膜的影响 | 第50-51页 |
| 4.3.4 热处理对ZnO:In薄膜的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.5 薄膜择优取向的生长机理 | 第53-55页 |
| 4.4 本章小结 | 第55-56页 |
| 第五章 结论与展望 | 第56-58页 |
| 5.1 小结 | 第56页 |
| 5.2 展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及科研成果 | 第67页 |
