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纳米复合Sn帽铜柱面阵列凸点的制备及其互连性能研究

摘要第5-7页
Abstract第7-8页
第1章 绪论第12-23页
    1.1 课题背景及研究意义第12-15页
    1.2 铜柱凸点研究现状第15-19页
        1.2.1 铜焊接概述第15-17页
        1.2.2 铜柱凸点可靠性研究现状第17-19页
    1.3 Sn基铅焊料研究现状第19-22页
        1.3.1 Sn基无铅焊料概述第19页
        1.3.2 焊料合金化研究现状第19-20页
        1.3.3 纳米颗粒增强复合焊料研究现状第20-21页
        1.3.4 纳米颗粒对复合焊料/铜界面微观组织生长的影响机理第21-22页
    1.4 本文主要研究内容第22-23页
第2章 试验设计方案第23-34页
    2.1 α-Fe_2O_3纳米颗粒的制备第23-24页
        2.1.1 Fe3O4纳米颗粒的制备第23页
        2.1.2 Fe_2O_3纳米颗粒的制备第23-24页
    2.2 纳米复合Sn镀层的制备第24-27页
        2.2.1 碱性电镀镀液的制备第24-25页
        2.2.2 纳米复合Sn镀层制备流程第25-27页
    2.3 纳米复合Sn帽铜柱凸点的制备第27-29页
    2.4 纳米复合Sn帽铜柱凸点的互连性能测试第29-31页
        2.4.1 高低温循环性能测试第29-30页
        2.4.2 热老化性能测试第30-31页
    2.5 纳米复合Sn帽铜柱凸点的接头强度测试第31-32页
    2.6 试样的观察及分析测试方法第32-34页
        2.6.1 纳米复合Sn帽铜柱凸点界面IMC的金相样品的制备第32页
        2.6.2 纳米复合Sn帽铜柱凸点表面IMC的金相样品的制备第32页
        2.6.3 金相样品的观察手段和分析方法第32-33页
        2.6.4 界面IMC尺寸计算方法第33-34页
第3章 纳米复合Sn帽铜柱凸点的表征第34-39页
    3.1 Fe_2O_3纳米颗粒的形貌观察与物相分析第34-35页
    3.2 纳米复合Sn帽铜柱凸点的形貌观察和物相分析第35-38页
    3.3 本章小结第38-39页
第4章 纳米复合Sn帽铜柱凸点的高低温循环性能研究第39-64页
    4.1 不同循环次数下纳米复合Sn帽铜柱凸点的微观组织演变第39-54页
        4.1.1 界面IMC的形貌与成分分析第39-41页
        4.1.2 α-Fe_2O_3纳米颗粒添加浓度对界面IMC生长速率的影响规律第41-49页
        4.1.3 表面IMC的形貌与成分分析第49-51页
        4.1.4 α-Fe_2O_3纳米颗粒添加浓度对表面IMC演变的影响规律第51-53页
        4.1.5 α-Fe_2O_3纳米颗粒添加浓度对微观组织演变的作用机理第53-54页
    4.2 不同循环次数下纳米复合Sn帽铜柱凸点的接头剪切强度研究第54-61页
        4.2.1 α-Fe_2O_3纳米颗粒对接头剪切强度的影响规律第54-58页
        4.2.2 α-Fe_2O_3纳米颗粒对剪切断口的影响规律第58-61页
    4.3 α-Fe_2O_3纳米颗粒添加浓度对晶粒细化的作用机理第61-62页
    4.4 本章小结第62-64页
第5章 纳米复合Sn帽铜柱凸点的热老化性能研究第64-79页
    5.1 不同循环次数下纳米复合Sn帽铜柱凸点的微观组织演变第64-73页
        5.1.1 α-Fe_2O_3纳米颗粒添加浓度对界面IMC演变的影响规律第64-72页
        5.1.2 α-Fe_2O_3纳米颗粒添加浓度对表面IMC演变的影响规律第72-73页
    5.2 不同循环次数下纳米复合Sn帽铜柱凸点的接头剪切强度研究第73-77页
        5.2.1 α-Fe_2O_3纳米颗粒对接头剪切强度的影响规律第73-76页
        5.2.2 α-Fe_2O_3纳米颗粒对剪切断口的影响规律第76-77页
    5.3 本章小结第77-79页
结论第79-81页
参考文献第81-87页
攻读学位期间发表论文与研究成果清单第87-88页
致谢第88页

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