超声振动辅助化学机械复合研磨硅片技术的基础研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| ·研究背景与意义 | 第7-8页 |
| ·硅片加工技术综述 | 第8-13页 |
| ·硅片及其生产加工 | 第8-9页 |
| ·硅片精密及超精密加工技术的研究现状 | 第9-13页 |
| ·超声加工技术 | 第13-15页 |
| ·超声波及其加工特性 | 第13-14页 |
| ·超声辅助加工技术的研究现状 | 第14-15页 |
| ·本课题的来源、研究内容及工作 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·课题的研究内容 | 第15-17页 |
| 2 复合研磨硅片的材料去除机理研究 | 第17-26页 |
| ·影响复合研磨硅片加工效果的因素 | 第17-18页 |
| ·固结磨料研磨的加工机理 | 第18-20页 |
| ·化学机械研磨的材料去除机理 | 第20-22页 |
| ·超声加工机理 | 第22-23页 |
| ·复合研磨的材料去除机理 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 复合研磨硅片实验装置的研制 | 第26-34页 |
| ·实验装置构成 | 第26-27页 |
| ·复合研磨装置各主要组成部分的分析 | 第27-33页 |
| ·超声检测系统 | 第27页 |
| ·研磨砂轮的选择 | 第27-29页 |
| ·研磨工具的设计 | 第29-32页 |
| ·复合研磨振动整体实验系统 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 4 研磨工具的振动特性仿真与实验验证 | 第34-41页 |
| ·研磨工具的有限元仿真分析 | 第34-38页 |
| ·有限元法简介 | 第34-36页 |
| ·基于ANSYS研磨工具振动的模态仿真 | 第36-38页 |
| ·研磨工具振动特性的实验验证 | 第38-40页 |
| ·研磨工具的频率—阻抗特性 | 第38-39页 |
| ·研磨工具的振动特性 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 5 复合研磨硅片表面加工的基础实验研究 | 第41-48页 |
| ·实验研究的方法和步骤 | 第41-42页 |
| ·实验结果及分析 | 第42-46页 |
| ·不同振动模式研磨硅片表面质量的实验研究 | 第42-45页 |
| ·研磨时间对加工表面粗糙度的影响 | 第45-46页 |
| ·研磨速度对加工表面粗糙度的影响 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-48页 |
| 6 总结与展望 | 第48-50页 |
| ·全文总结 | 第48页 |
| ·展望 | 第48-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 致谢 | 第53页 |
