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焊点IMC对3D IC封装可靠度的影响研究

摘要第1-4页
Abstract第4-7页
第一章 绪论第7-11页
   ·研究背景及动机第7-8页
     ·研究背景第7-8页
     ·研究动机第8页
   ·文献回顾第8-9页
   ·本文研究目标及主要工作第9-11页
     ·课题来源第9页
     ·本文研究目标第9-10页
     ·本文主要工作第10-11页
第二章 基础理论第11-29页
   ·平面问题的应力与应变第11-14页
   ·弹塑性材料力学有限单元基础理论第14-16页
   ·锡球外形预估理论第16-19页
     ·截球法(Truncated Sphere Method)第16-18页
     ·力平衡解析法(Force-balanced Analytical Solution)第18页
     ·能量法(Energy-based algorithm)第18-19页
   ·破坏准则第19-21页
     ·最大主应力失效准则(Rankine’s Theory)第19-20页
     ·最大剪应力失效准则(Tresca Theory)第20页
     ·变形能失效准则(von Mises Theory)第20-21页
   ·热应力与应变的本构关系第21-22页
   ·热应力对可靠度的影响与加速因子评估第22-24页
   ·封装结构的接点热疲劳寿命预测与可靠度分析第24-25页
   ·金属界层成长的扩散效应第25-27页
   ·本章小结第27-29页
第三章 模型简化及建模方法第29-53页
   ·3D IC 封装模型架构第29-32页
     ·试片制程第29-30页
     ·模型建构第30-32页
   ·覆晶封装的建模方法第32-42页
     ·单元类型第33页
     ·材料特性第33-34页
     ·几何模型第34-39页
     ·网格划分第39-41页
     ·边界载荷第41-42页
   ·3D IC 模型的简化第42-46页
     ·假设预焊球外形为圆柱形第43页
     ·简化实验 IMC 凸块接点层第43-44页
     ·省略 TSV 结构第44-45页
     ·其他简化及假设第45页
     ·分别选定 Cu/Sn 及 Cu/Ni/In 构成 IMC 焊点第45-46页
   ·3D IC 结构的建模方法第46-51页
     ·单元类型与材料特性第46-47页
     ·几何模型第47-48页
     ·网格划分第48-50页
     ·边界载荷第50-51页
   ·本章小结第51-53页
第四章 有限元素方法模拟结果第53-79页
   ·覆晶封装锡球的可靠度分析第53-59页
     ·判定锡球破坏起始点(Initial crack point)第53-56页
     ·锡球站立高度与接触角对锡球寿命的影响第56-59页
   ·覆晶封装芯片尺寸效应第59-64页
     ·底胶对锡球可靠度的影响第61页
     ·芯片尺寸对锡球可靠度的影响第61-64页
   ·IMC 焊点结构对 3D IC 封装的影响第64-78页
     ·不同 IMC 焊点下的芯片破坏分析第65-73页
     ·In 层的破坏模式分析第73-78页
   ·本章小结第78-79页
第五章 总结与展望第79-81页
   ·本文总结第79-80页
   ·未来工作与展望第80-81页
致谢第81-83页
参考文献第83-86页

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