| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第17-27页 |
| 1.1 引言 | 第17页 |
| 1.2 纳米压印技术的发展 | 第17-18页 |
| 1.3 纳米压印技术的分类 | 第18-23页 |
| 1.3.1 热压印 | 第18-19页 |
| 1.3.2 紫外压印 | 第19-20页 |
| 1.3.3 微接触印刷 | 第20-21页 |
| 1.3.4 基于HSQ的纳米压印 | 第21-22页 |
| 1.3.5 滚动式压印 | 第22-23页 |
| 1.4 纳米压印技术的应用 | 第23-27页 |
| 1.4.1 发光二级管 | 第23页 |
| 1.4.2 场效应晶体管 | 第23-24页 |
| 1.4.3 光学元器件 | 第24-26页 |
| 1.4.4 太阳能电池 | 第26-27页 |
| 第二章 亚波长结构减反射膜 | 第27-34页 |
| 2.1 亚波长结构减反射膜 | 第27-28页 |
| 2.2 工作原理 | 第28页 |
| 2.3 亚波长结构减反射膜的制备 | 第28-32页 |
| 2.3.1 电子束曝光与原子束刻蚀法 | 第28-29页 |
| 2.3.2 旋涂法 | 第29页 |
| 2.3.3 全息光刻法 | 第29-31页 |
| 2.3.4 模板法 | 第31页 |
| 2.3.5 纳米压印法 | 第31-32页 |
| 2.4 国内外研究现状和趋势 | 第32页 |
| 2.5 论文选题意义及研究内容 | 第32-34页 |
| 第三章 基于多孔氧化铝模板和紫外纳米压印的减反射膜制备 | 第34-44页 |
| 3.1 多孔氧化铝模板的制备 | 第34-35页 |
| 3.2 减反射膜的制备过程 | 第35-38页 |
| 3.2.1 实验方案的确定 | 第35-36页 |
| 3.2.2 实验材料与实验设备 | 第36-37页 |
| 3.2.3 制备步骤 | 第37-38页 |
| 3.3 实验结果的表征与讨论 | 第38-43页 |
| 3.3.1 减反射膜表面形貌的表征与讨论 | 第38页 |
| 3.3.2 反射率的表征与测量 | 第38-40页 |
| 3.3.3 太阳能电池性能测量 | 第40-43页 |
| 3.4 本章小结 | 第43-44页 |
| 第四章 基于阳极氧化法的多孔硅模板的制备 | 第44-55页 |
| 4.1 研究背景 | 第44-46页 |
| 4.2 多孔硅的腐蚀原理 | 第46-47页 |
| 4.3 多孔硅表面形貌的控制 | 第47-49页 |
| 4.3.1 电流密度对多孔硅孔径的影响 | 第47-48页 |
| 4.3.2 两步阳极氧化的方法制备多孔硅 | 第48页 |
| 4.3.3 实验方案的确定 | 第48-49页 |
| 4.4 多孔硅模板的实验制备 | 第49-51页 |
| 4.4.1 实验装置 | 第49页 |
| 4.4.2 实验材料与设备 | 第49-50页 |
| 4.4.3 制备过程 | 第50-51页 |
| 4.5 实验结果的表征与讨论 | 第51-52页 |
| 4.6 制备工艺的改进 | 第52-53页 |
| 4.6.1 改进的实验步骤 | 第52-53页 |
| 4.6.2 实验结果的分析与讨论 | 第53页 |
| 4.7 本章小结 | 第53-55页 |
| 第五章 基于多孔硅模板和热压印的减反射膜的制备 | 第55-75页 |
| 5.1 实验装置 | 第55-56页 |
| 5.2 模板的预处理 | 第56-59页 |
| 5.2.1 脱模技术的选择 | 第56-57页 |
| 5.2.2 蒸镀脱模剂的实验步骤 | 第57-59页 |
| 5.3 基于聚二甲基硅氧烷的减反射膜制备 | 第59-64页 |
| 5.3.1 PDMS材料的性质与选材依据 | 第60-61页 |
| 5.3.2 实验原料和实验设备 | 第61-62页 |
| 5.3.3 实验步骤 | 第62页 |
| 5.3.4 实验结果的表征 | 第62-64页 |
| 5.3.5 表征结果的讨论 | 第64页 |
| 5.4 基于EVA的亚波长结构减反射膜制备 | 第64-69页 |
| 5.4.1 EVA胶膜的性质与选材依据 | 第64-65页 |
| 5.4.2 实验材料与设备 | 第65-66页 |
| 5.4.3 实验制备步骤 | 第66-67页 |
| 5.4.4 实验结果的表征 | 第67页 |
| 5.4.5 表征结果的讨论 | 第67-69页 |
| 5.5 基于聚苯乙烯的亚波长结构减反射膜的制备 | 第69-74页 |
| 5.5.1 聚苯乙烯材料的性质与选材依据 | 第69-71页 |
| 5.5.2 实验材料与设备 | 第71页 |
| 5.5.3 实验步骤 | 第71-72页 |
| 5.5.4 实验结果的表征 | 第72-73页 |
| 5.5.5 表征结果的讨论 | 第73-74页 |
| 5.6 本章小结 | 第74-75页 |
| 第六章 结束语 | 第75-77页 |
| 6.1 主要工作与创新点 | 第75-76页 |
| 6.2 后续研究工作 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第83页 |