各向异性导电胶互连界面接触电阻计算的实验研究

摘要	第4-5页
Abstract	第5页
1 绪论	第8-13页
1.1 课题来源	第8页
1.2 课题背景、目的和意义	第8-10页
1.3 国内外研究现状	第10-11页
1.4 论文主要研究内容	第11-13页
2 单导电粒子体电阻计算模型	第13-23页
2.1 导电胶简介	第13-15页
2.2 单导电粒子模型体电阻计算	第15-22页
2.3 本章小结	第22-23页
3 工艺参数对接触电阻的影响	第23-43页
3.1 工艺步骤及工艺参数选取	第23-25页
3.2 实验芯片与基板设计	第25-30页
3.3 接触电阻模型	第30-33页
3.4 结果与讨论	第33-41页
3.5 本章小结	第41-43页
4 凸点特征对接触电阻的影响	第43-55页
4.1 多维度长度特征尺寸实验芯片与基板设计	第43-44页
4.2 实验结果分析	第44-54页
4.3 本章小结	第54-55页
5 总结与展望	第55-57页
5.1 全文总结	第55-56页
5.2 未来展望	第56-57页
致谢	第57-58页
参考文献	第58-62页
附录1 攻读学位期间发表的学术论文	第62-63页
附录2 攻读学位期间申请的国家专利	第63页