| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 硬质合金刀片的发展 | 第10页 |
| 1.1.2 硬质合金刀片加工方法 | 第10-11页 |
| 1.1.3 硬质合金刀片 CMP 加工 | 第11页 |
| 1.2 国内外研究现状综述 | 第11-14页 |
| 1.2.1 CMP 工艺参数优化 | 第12页 |
| 1.2.2 表面质量预测 | 第12-13页 |
| 1.2.3 工艺参数数据库 | 第13-14页 |
| 1.2.4 目前存在的主要问题 | 第14页 |
| 1.3 研究目标及内容 | 第14-16页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第14页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第14-16页 |
| 第二章 硬质合金刀片 CMP 抛光机理研究 | 第16-25页 |
| 2.1 引言 | 第16页 |
| 2.2 硬质合金刀片 CMP 材料去除的动力学过程和构成 | 第16-18页 |
| 2.2.1 材料去除的动力学过程分析 | 第16-17页 |
| 2.2.2 材料去除量的构成模型 | 第17-18页 |
| 2.3 磨粒接触模型分析 | 第18-21页 |
| 2.3.1 基于接触力学的建模分析 | 第19-20页 |
| 2.3.2 基于流体动力学的建模分析 | 第20-21页 |
| 2.4 单颗磨粒对材料去除的影响 | 第21-22页 |
| 2.5 硬质合金刀片 CMP 化学反应机理分析 | 第22-24页 |
| 2.5.1 硬质合金 CMP 化学反应机理 | 第22-23页 |
| 2.5.2 化学作用对材料去除的影响 | 第23-24页 |
| 2.7 小结 | 第24-25页 |
| 第三章 硬质合金刀片 CMP 工艺参数优化 | 第25-37页 |
| 3.1 引言 | 第25页 |
| 3.2 理论基础 | 第25-27页 |
| 3.2.1 CMP 工艺参数 | 第25页 |
| 3.2.2 正交试验 | 第25-26页 |
| 3.2.3 田口法 | 第26-27页 |
| 3.2.4 方差分析 | 第27页 |
| 3.3 硬质合金刀片 CMP 多工序加工工艺流程规划 | 第27-28页 |
| 3.4 基于多工序多评价指标硬质合金刀片 CMP 抛光实验 | 第28-29页 |
| 3.4.1 实验方案设计 | 第28页 |
| 3.4.2 实验设备及耗材 | 第28-29页 |
| 3.5 基于多工序多评价指标硬质合金刀片 CMP 正交试验设计 | 第29-31页 |
| 3.5.1 影响因素和试验指标的确定 | 第29页 |
| 3.5.2 各影响因素水平的确定 | 第29-30页 |
| 3.5.3 实验数据收集 | 第30-31页 |
| 3.6 基于多工序多评价指标工艺参数优化 | 第31-36页 |
| 3.6.1 基于单一评价指标工艺参数优化 | 第31-33页 |
| 3.6.2 各工艺参数的影响程度分析 | 第33-35页 |
| 3.6.3 基于综合评价指标工艺参数优化 | 第35-36页 |
| 3.7 优化结果验证 | 第36页 |
| 3.8 小结 | 第36-37页 |
| 第四章 基于神经网络的硬质合金刀片 CMP 抛光质量预测 | 第37-45页 |
| 4.1 引言 | 第37页 |
| 4.2 理论基础 | 第37-39页 |
| 4.2.1 人工神经网络 | 第37页 |
| 4.2.2 BP 神经网络 | 第37-39页 |
| 4.3 硬质合金刀片 CMP 抛光质量预测模型的建立 | 第39-43页 |
| 4.3.1 预测模型的建立 | 第40-42页 |
| 4.3.2 预测模型验证 | 第42-43页 |
| 4.4 小结 | 第43-45页 |
| 第五章 CMP 工艺智能决策系统的开发 | 第45-63页 |
| 5.1 引言 | 第45页 |
| 5.2 理论基础 | 第45-46页 |
| 5.2.1 智能决策技术 | 第45页 |
| 5.2.2 混合推理机制 | 第45-46页 |
| 5.3 工艺路线智能决策模型 | 第46-47页 |
| 5.4 CMP 多工序多评价工艺智能决策系统的开发 | 第47-62页 |
| 5.4.1 系统功能分析 | 第47-48页 |
| 5.4.2 系统总体结构 | 第48-49页 |
| 5.4.3 数据库开发 | 第49-50页 |
| 5.4.4 系统开发 | 第50-56页 |
| 5.4.5 系统实例测试 | 第56-62页 |
| 5.5 小结 | 第62-63页 |
| 结论与展望 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文及研究成果 | 第69页 |
