| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-12页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| ·微流控芯片简介 | 第12-19页 |
| ·微流控芯片的概念和意义 | 第12页 |
| ·微流控芯片的提出与发展 | 第12-14页 |
| ·塑料微流控芯片自动化制造技术 | 第14-19页 |
| ·工业过程控制技术概述 | 第19-23页 |
| ·工业过程控制的发展 | 第20-22页 |
| ·工业过程控制的特点 | 第22-23页 |
| ·课题的来源及意义 | 第23-24页 |
| 2 微流控芯片热压键合设备的温度控制研究 | 第24-45页 |
| ·任务与需求分析 | 第24页 |
| ·控制系统总体分析与设计 | 第24-25页 |
| ·控制系统的硬件电路实现 | 第25-27页 |
| ·控制器 | 第25-26页 |
| ·半导体热电致冷堆[28][29] | 第26页 |
| ·温度传感器 | 第26-27页 |
| ·温度变送器 | 第27页 |
| ·功率驱动电路 | 第27页 |
| ·机械结构分析 | 第27页 |
| ·控制器设计 | 第27-40页 |
| ·基本控制器的选择 | 第27-30页 |
| ·PID控制参数整定 | 第30-34页 |
| ·控制器仿真 | 第34-37页 |
| ·改进的数字PID控制 | 第37-40页 |
| ·控制精度及重复精度测试 | 第40-43页 |
| ·测试目的 | 第40页 |
| ·测试仪器 | 第40-41页 |
| ·测试内容及方法 | 第41-42页 |
| ·测试结果 | 第42页 |
| ·结论 | 第42-43页 |
| ·阶跃响应测试实验 | 第43-44页 |
| ·测试目的和意义 | 第43页 |
| ·测试平台 | 第43-44页 |
| ·测试结果和结论 | 第44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 3 微流控芯片热压键合设备的压力控制研究 | 第45-64页 |
| ·任务与需求分析 | 第45-46页 |
| ·控制系统总体分析与设计 | 第46页 |
| ·机械结构分析 | 第46-47页 |
| ·控制系统的硬件电路实现 | 第47-48页 |
| ·控制器 | 第47-48页 |
| ·直流力矩电机及其驱动器 | 第48页 |
| ·压力传感器及压力变送器 | 第48页 |
| ·控制器设计 | 第48-60页 |
| ·基本控制器的选择 | 第48-49页 |
| ·开环阶跃响应实验 | 第49-50页 |
| ·热压键合机压力控制的特点 | 第50-54页 |
| ·改进的数字PID控制 | 第54-57页 |
| ·变周期采样控制技术 | 第57-60页 |
| ·控制精度及重复精度实验 | 第60-61页 |
| ·测试目的 | 第60页 |
| ·测试仪器 | 第60页 |
| ·测试内容及方法 | 第60页 |
| ·测试结果 | 第60-61页 |
| ·结论 | 第61页 |
| ·阶跃响应与斜坡响应测试实验 | 第61-63页 |
| ·测试目的和意义 | 第61页 |
| ·测试平台 | 第61页 |
| ·测试结果 | 第61-62页 |
| ·结论 | 第62-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 4 自动控制系统的软件设计 | 第64-78页 |
| ·任务与需求分析 | 第64-65页 |
| ·总体设计 | 第65-68页 |
| ·采用面向对象的程序设计方法 | 第65页 |
| ·采用Visual C++6.0作为编程语言和编译环境 | 第65-66页 |
| ·二级分布式控制及其实现方式 | 第66页 |
| ·采用ODBC对ACCESS数据库进行存取 | 第66-67页 |
| ·采用WDM驱动程序在Win2000下对端口进行读写 | 第67页 |
| ·采用Windows API函数读写RS485串口，与上位机通讯 | 第67页 |
| ·采用多媒体高精度定时器进行过程控制 | 第67-68页 |
| ·界面设计 | 第68-70页 |
| ·类的设计 | 第70-71页 |
| ·线性积分比较法实现PWM脉宽调制的软件输出 | 第71-75页 |
| ·PWM脉宽调制原理 | 第71-73页 |
| ·PWM脉宽调制的软件实现方法 | 第73-75页 |
| ·工艺过程自动运行规则的设计 | 第75-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 结论 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第83-84页 |
| 致谢 | 第84-85页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第85页 |
