热光效应器件加热互连线丢失物缺陷分析与设计优化研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| 1.1 课题来源 | 第9页 |
| 1.2 课题的目的和意义 | 第9-11页 |
| 1.3 国内外研究展现状 | 第11-12页 |
| 1.4 本文研究的主要内容 | 第12-14页 |
| 第2章 热光器件中的丢失物缺陷形成机理及影响分析 | 第14-28页 |
| 2.1 典型热光器件工作原理 | 第14-17页 |
| 2.1.1 热光器件结构 | 第14-15页 |
| 2.1.2 热光效应及温度场分析 | 第15-17页 |
| 2.2 热光效应器件加热互连线丢失物缺陷分析 | 第17-20页 |
| 2.2.1 金薄膜互连线缺陷类型 | 第17-19页 |
| 2.2.2 丢失物缺陷失效机理 | 第19-20页 |
| 2.3 丢失物缺陷对电迁移的影响 | 第20-26页 |
| 2.3.1 电迁移失效理论 | 第20-23页 |
| 2.3.2 电迁移寿命模型 | 第23-26页 |
| 2.4 本章小结 | 第26-28页 |
| 第3章 加热互连线丢失物缺陷与间距优化仿真分析 | 第28-46页 |
| 3.1 互连线丢失物缺陷仿真分析 | 第28-39页 |
| 3.1.1 有限元模型的建立 | 第28-31页 |
| 3.1.2 互连线上丢失物缺陷热电耦合仿真结果 | 第31-34页 |
| 3.1.3 不同位置空洞对互连线电迁移的影响 | 第34-35页 |
| 3.1.4 不同厚度划痕对互连线电迁移的影响 | 第35-37页 |
| 3.1.5 划痕缺陷对热光效应器件性能的影响 | 第37-39页 |
| 3.2 多根互连线间距优化仿真分析 | 第39-44页 |
| 3.2.1 热光效应器件互连线仿真模型 | 第39-40页 |
| 3.2.2 网格划分与参数设置 | 第40页 |
| 3.2.3 仿真结果 | 第40-43页 |
| 3.2.4 数据分析与优化设计 | 第43-44页 |
| 3.3 本章小结 | 第44-46页 |
| 第4章 丢失物缺陷互连线寿命试验分析 | 第46-57页 |
| 4.1 金薄膜互联线制作工艺 | 第46-49页 |
| 4.1.1 金薄膜互连线结构设计 | 第46-47页 |
| 4.1.2 金薄膜互连线样品制作 | 第47-48页 |
| 4.1.3 金薄膜互连线样品切割 | 第48-49页 |
| 4.2 样品检测与缺陷分类 | 第49-50页 |
| 4.2.1 样品检测 | 第49页 |
| 4.2.2 缺陷分类 | 第49-50页 |
| 4.3 试验系统设计 | 第50-51页 |
| 4.3.1 试验测试系统 | 第50-51页 |
| 4.3.2 失效准则 | 第51页 |
| 4.3.3 试验应力设置及参数测量 | 第51页 |
| 4.4 试验结果与分析 | 第51-55页 |
| 4.4.1 试验结果 | 第51-54页 |
| 4.4.2 试验分析 | 第54-55页 |
| 4.5 本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 总结与展望 | 第57-59页 |
| 5.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 5.2 今后的工作 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-62页 |
| 致谢 | 第62-63页 |
| 附录 | 第63页 |
