MEMS器件的加工方法及工艺特性研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·引言 | 第10-12页 |
| ·国内外研究状况 | 第12-16页 |
| ·国外发展状况 | 第12-14页 |
| ·国内发展状况 | 第14-16页 |
| ·课题研究意义与主要内容 | 第16-18页 |
| 第2章 MEMS 基础研究及加工技术 | 第18-44页 |
| ·理论基础研究 | 第18-26页 |
| ·MEMS 的尺度效应 | 第18-24页 |
| ·MEMS 的微观力学 | 第24-26页 |
| ·设计基础研究 | 第26-29页 |
| ·MEMS 设计要求 | 第26-27页 |
| ·MEMS 加工材料 | 第27-29页 |
| ·MEMS 加工技术 | 第29-42页 |
| ·微细电火花加工技术 | 第30-34页 |
| ·LIGA 加工技术 | 第34-39页 |
| ·硅基 MEMS 加工技术 | 第39-42页 |
| ·MEMS 加工技术比较 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第3章 MEMS 万向惯性开关设计及加工 | 第44-62页 |
| ·工作原理 | 第44-45页 |
| ·设计与仿真 | 第45-48页 |
| ·万向惯性开关结构设计 | 第45-46页 |
| ·设计要求与材料选择 | 第46-47页 |
| ·万向惯性开关结构仿真 | 第47-48页 |
| ·加工工艺 | 第48-61页 |
| ·工艺流程 | 第49-51页 |
| ·版图设计 | 第51-52页 |
| ·芯片加工关键工艺 | 第52-59页 |
| ·加工成型芯片 | 第59页 |
| ·封装工艺 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第4章 万向惯性开关工艺特性检测 | 第62-70页 |
| ·静态检测 | 第62-66页 |
| ·S 型折叠梁检测 | 第62-64页 |
| ·电极间隙检测 | 第64-66页 |
| ·冲击试验检测 | 第66-69页 |
| ·实验目的 | 第66页 |
| ·实验原理 | 第66-68页 |
| ·实验结果及分析 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 总结 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文和获得的科研成果 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
