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微型叠层芯片固有频率的实验测试研究

摘要第1-4页
ABSTRACT第4-7页
第一章 绪论第7-15页
   ·叠层芯片封装的发展第7页
   ·叠层封装中的互连问题第7-8页
   ·微结构动态测试的必要性与困难性第8页
     ·微结构振动测试的必要性第8页
     ·实验测试面临的困难第8页
   ·微结构动态测试研究现状第8-13页
   ·课题综述第13-15页
     ·课题来源第13页
     ·研究意义第13页
     ·研究内容第13-15页
第二章 叠层芯片的激振与振动测量简介第15-24页
   ·振动测试系统基本组成第15-16页
     ·宏观结构振动测试系统第15-16页
     ·微结构动态测试系统第16页
   ·叠层芯片振动测试系统核心构成第16-23页
     ·激振机理与器材的选择第17-19页
     ·激励源与激振方式第19-21页
     ·拾振单元:激光多普勒测振仪第21-23页
   ·本章小结第23-24页
第三章 叠层芯片激振方式的研究第24-40页
   ·实验设置第24-28页
     ·振动测试实验装置的搭建第24-25页
     ·测试结构的支撑方式第25-26页
     ·测点的选择第26页
     ·激励信号实验获取第26-28页
   ·响应信号的提取与处理第28-39页
     ·多普勒主要参数设置第29-33页
     ·实验数据处理第33-39页
   ·实验总结第39页
   ·本章小结第39-40页
第四章 叠层芯片固有频率的提取第40-71页
   ·压电底座激振缺点的探讨第40-46页
   ·叠层芯片响应数据的处理及固有频率的确定第46-54页
     ·响应功率谱估计算法分析第46-53页
     ·谐振峰对应下的频率讨论第53-54页
   ·阻抗分析法第54-70页
     ·压电陶瓷(PZT)等效模型第54-55页
     ·贴有与未贴有芯片的PZT阻抗测试第55-59页
     ·阻抗测试结果及讨论第59-70页
   ·本章小结第70-71页
第五章 全文总结与展望第71-72页
   ·全文总结第71页
   ·全文展望第71-72页
参考文献第72-77页
参与课题与研究成果第77-78页
致谢第78页

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