微型叠层芯片固有频率的实验测试研究
摘要 | 第1-4页 |
ABSTRACT | 第4-7页 |
第一章 绪论 | 第7-15页 |
·叠层芯片封装的发展 | 第7页 |
·叠层封装中的互连问题 | 第7-8页 |
·微结构动态测试的必要性与困难性 | 第8页 |
·微结构振动测试的必要性 | 第8页 |
·实验测试面临的困难 | 第8页 |
·微结构动态测试研究现状 | 第8-13页 |
·课题综述 | 第13-15页 |
·课题来源 | 第13页 |
·研究意义 | 第13页 |
·研究内容 | 第13-15页 |
第二章 叠层芯片的激振与振动测量简介 | 第15-24页 |
·振动测试系统基本组成 | 第15-16页 |
·宏观结构振动测试系统 | 第15-16页 |
·微结构动态测试系统 | 第16页 |
·叠层芯片振动测试系统核心构成 | 第16-23页 |
·激振机理与器材的选择 | 第17-19页 |
·激励源与激振方式 | 第19-21页 |
·拾振单元:激光多普勒测振仪 | 第21-23页 |
·本章小结 | 第23-24页 |
第三章 叠层芯片激振方式的研究 | 第24-40页 |
·实验设置 | 第24-28页 |
·振动测试实验装置的搭建 | 第24-25页 |
·测试结构的支撑方式 | 第25-26页 |
·测点的选择 | 第26页 |
·激励信号实验获取 | 第26-28页 |
·响应信号的提取与处理 | 第28-39页 |
·多普勒主要参数设置 | 第29-33页 |
·实验数据处理 | 第33-39页 |
·实验总结 | 第39页 |
·本章小结 | 第39-40页 |
第四章 叠层芯片固有频率的提取 | 第40-71页 |
·压电底座激振缺点的探讨 | 第40-46页 |
·叠层芯片响应数据的处理及固有频率的确定 | 第46-54页 |
·响应功率谱估计算法分析 | 第46-53页 |
·谐振峰对应下的频率讨论 | 第53-54页 |
·阻抗分析法 | 第54-70页 |
·压电陶瓷(PZT)等效模型 | 第54-55页 |
·贴有与未贴有芯片的PZT阻抗测试 | 第55-59页 |
·阻抗测试结果及讨论 | 第59-70页 |
·本章小结 | 第70-71页 |
第五章 全文总结与展望 | 第71-72页 |
·全文总结 | 第71页 |
·全文展望 | 第71-72页 |
参考文献 | 第72-77页 |
参与课题与研究成果 | 第77-78页 |
致谢 | 第78页 |