晶圆处理预对准系统的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·引言 | 第10-11页 |
| ·国内外研究发展现状及分析 | 第11-15页 |
| ·课题来源、主要研究内容 | 第15-17页 |
| ·课题来源 | 第15页 |
| ·本文主要研究内容 | 第15-16页 |
| ·系统的技术要求 | 第16-17页 |
| 第2章 系统的总体方案和机构的设计 | 第17-33页 |
| ·引言 | 第17页 |
| ·晶圆预对准系统的结构设计 | 第17-24页 |
| ·晶圆预对准系统的功能 | 第17-18页 |
| ·晶圆预对准系统的流程 | 第18-19页 |
| ·晶圆预对准系统方案确定 | 第19-24页 |
| ·系统气路设计 | 第24-30页 |
| ·气路设计的目的 | 第24页 |
| ·气路方案原理分析 | 第24-27页 |
| ·气动元件的选用 | 第27-28页 |
| ·系统气路的建立与真空度计算 | 第28-30页 |
| ·检测系统的设计 | 第30-31页 |
| ·预对准系统的建立 | 第31页 |
| ·本章小结 | 第31-33页 |
| 第3章 晶圆预对准的检测算法的研究 | 第33-44页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·圆拟合算法 | 第33-37页 |
| ·回转半径法 | 第33-34页 |
| ·轨迹拟合法 | 第34-36页 |
| ·最小二乘圆 | 第36-37页 |
| ·圆拟合算法的选择 | 第37页 |
| ·缺口的检测方法 | 第37-38页 |
| ·晶圆预对准系统的计算 | 第38-42页 |
| ·晶圆圆参数计算 | 第38-39页 |
| ·晶圆圆拟合以及缺口检验的计算 | 第39-42页 |
| ·晶圆预对准检测流程图 | 第42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第4章 预对准控制系统及误差分析 | 第44-57页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·晶圆预对准系统的控制 | 第44-51页 |
| ·晶圆预对准系统的运动控制 | 第44-45页 |
| ·参数调节的方法 | 第45-48页 |
| ·晶圆预对准系统的气动控制 | 第48-49页 |
| ·多媒体定时器 | 第49-50页 |
| ·CCD串口通信 | 第50-51页 |
| ·晶圆预对准系统的精度分析 | 第51-56页 |
| ·机械装配和气动交换误差 | 第51-52页 |
| ·运动控制误差 | 第52-54页 |
| ·检测误差 | 第54-56页 |
| ·本章小结 | 第56-57页 |
| 第5章 预对准实验研究 | 第57-66页 |
| ·引言 | 第57页 |
| ·预对准控制界面 | 第57-58页 |
| ·预对准实验 | 第58-65页 |
| ·真空吸附实验 | 第60-62页 |
| ·圆拟合及结果分析 | 第62-64页 |
| ·缺口定位重复性结果及分析 | 第64-65页 |
| ·技术指标 | 第65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 结论 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 附录预对准主程序 | 第70-72页 |
| 哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
