在线式等离子清洗工艺技术研究

摘要	第1-4页
ABSTRACT	第4-8页
第一章 绪论	第8-16页
·课题研究的背景及其意义	第8-9页
·清洗技术简介	第9-15页
·清洗分类	第9-13页
·等离子清洗发展现状	第13-15页
·本课题研究的目的	第15-16页
第二章 等离子产生和清洗的原理	第16-34页
·等离子体简介	第16-18页
·等离子体形成原理	第18-25页
·等离子体的形成——放电起始电压	第18-19页
·等离子功率吸收	第19-21页
·等离子体产生方式	第21-25页
·等离子体特性	第25-29页
·等离子德拜屏蔽	第26-27页
·等离子振荡	第27-28页
·等离子体鞘层	第28-29页
·射频等离子体电源的匹配原理	第29-31页
·等离子清洗作用原理	第31-34页
第三章 在线式等离子清洗技术与设备介绍	第34-42页
·在线式等离子清洗流程	第34-35页
·在线式等离子清洗机介绍	第35-40页
·等离子清洗工艺气体的选配	第40-42页
第四章 在线式等离子清洗实验及结果分析	第42-54页
·清洗结果的检测方法及其原理	第42页
·在线式等离子清洗实验	第42-47页
·实验仪器与实验条件	第44-46页
·实验步骤	第46页
·实验参数	第46-47页
·清洗前后表面特性分析	第47-48页
·清洗效果的影响因素分析	第48-54页
·功率对清洗效果的影响	第48-50页
·气体流量对清洗效果的影响	第50-52页
·处理时间对清洗效果的影响	第52-54页
小结	第54-56页
参考文献	第56-60页
致谢	第60-61页
附录:作者在攻读硕士学位期间发表的论文	第61-62页