| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·研究背景和问题描述 | 第8-12页 |
| ·研究背景 | 第8-11页 |
| ·问题描述 | 第11-12页 |
| ·本文的主要工作及论文结构 | 第12-13页 |
| 第二章 相关研究工作 | 第13-21页 |
| ·Brooks STATIONworks 平台简介 | 第13-14页 |
| ·半导体设备通讯标准SECS/GEM 简介 | 第14-16页 |
| ·系统需求分析 | 第16-20页 |
| ·12 英寸晶圆生产线情况分析 | 第16-18页 |
| ·12 英寸生产线机台情况分析 | 第18页 |
| ·设备自动化系统与其它关联系统情况分析 | 第18-20页 |
| ·小结 | 第20-21页 |
| 第三章 系统总体方案设计 | 第21-26页 |
| ·系统总体设计思路 | 第21页 |
| ·系统总体框架 | 第21-24页 |
| ·系统功能设计 | 第24-25页 |
| ·小结 | 第25-26页 |
| 第四章 系统详细设计与实现 | 第26-44页 |
| ·FSM 模块的设计与实现 | 第26-34页 |
| ·系统中的状态设计 | 第26-28页 |
| ·系统中主要状态设计说明 | 第28-34页 |
| ·状态设计方法总结 | 第34页 |
| ·FA 处理模块的设计与实现 | 第34-37页 |
| ·作业处理模块的设计与实现 | 第37-43页 |
| ·小结 | 第43-44页 |
| 第五章 系统测试与现场调试 | 第44-52页 |
| ·系统设计与实现的结果 | 第44页 |
| ·系统模拟测试 | 第44-49页 |
| ·现场调试 | 第49-50页 |
| ·现场调试的必要性 | 第49页 |
| ·现场调试的准备 | 第49-50页 |
| ·现场调试的内容 | 第50页 |
| ·测试结果 | 第50-52页 |
| 第六章 总结与展望 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-56页 |
| 附录 | 第56-57页 |
| 攻读学位期间参加的科研项目和成果 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |