| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-20页 |
| 1.双重图案光刻的研究背景 | 第9-14页 |
| 2.针对双重图案光刻的双重图案划分方法发展现状 | 第14-17页 |
| 3.本文的研究内容和主要贡献 | 第17-18页 |
| 4.本文的组织结构 | 第18-20页 |
| 第二章 多层版图双重图案层分配优化问题的定义 | 第20-32页 |
| 1.研究多层版图双重图案层分配优化的背景及动机 | 第20-22页 |
| 2.多层版图双重图案层分配优化问题的定义 | 第22-29页 |
| 3.解决多层版图双重图案层分配问题的困难和挑战 | 第29-30页 |
| 4.本章小结 | 第30-32页 |
| 第三章 多层版图双重图案层分配的问题复杂度分析 | 第32-44页 |
| 1.问题的NP完全性 | 第32-35页 |
| ·问题依据复杂程度的划分 | 第32-34页 |
| ·NP完全问题的证明 | 第34-35页 |
| 2.单层版图双重图案划分的NP完全性 | 第35-42页 |
| 3.多层版图双重图案层分配的NP完全性 | 第42页 |
| 4.本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 基于动态规划和最大割的启发式优化方法(DPLA) | 第44-81页 |
| 1.方法总体框架 | 第44-46页 |
| 2.方法细节 | 第46-80页 |
| ·双重图案危险最小化层分配 | 第47-63页 |
| A.多层图构建 | 第47-56页 |
| B.树结构最优化算法 | 第56-58页 |
| C.一般图结构启发式算法 | 第58-63页 |
| ·分层双重图案光刻版图划分 | 第63-75页 |
| A.备选缝合点的插入 | 第63-67页 |
| B.基于最大割算法的无解双重图案冲突及缝合点个数最小化 | 第67-70页 |
| C.最大割启发式算法 | 第70-75页 |
| ·通孔最小化层分配 | 第75-80页 |
| 3.本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 实验结果 | 第81-89页 |
| 1.多层版图双重图案层分配结果 | 第81-84页 |
| 2.考虑时序关键路径的算法结果 | 第84-86页 |
| 3.备选通孔插入点对算法结果的影响 | 第86-87页 |
| 4.权重参数对算法结果的影响 | 第87-88页 |
| 5.本章小结 | 第88-89页 |
| 第六章 总结与展望 | 第89-91页 |
| 1.全文总结 | 第89-90页 |
| 2.未来展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-96页 |
| 已发表文章列表(第一作者) | 第96-97页 |
| 致谢 | 第97-98页 |