| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 引言 | 第6-12页 |
| 1.良率管理系统介绍 | 第8-10页 |
| 2.良率管理系统的重要作用、现状以及发展趋势 | 第10-11页 |
| 3.良率管理系统瓶颈与本文研究内容 | 第11-12页 |
| 第一章 数据挖掘以及相关统计原理介绍 | 第12-36页 |
| ·数据挖掘基本介绍 | 第12-17页 |
| ·数据挖掘技术的基本概念 | 第13页 |
| ·数据挖掘的基本任务 | 第13-14页 |
| ·数据挖掘常用的基本技术 | 第14-15页 |
| ·数据挖掘技术实施的步骤 | 第15-16页 |
| ·数据挖掘的应用现状 | 第16-17页 |
| ·相关统计原理介绍 | 第17-21页 |
| ·统计检验的基本原理 | 第17页 |
| ·小样本平均差异的显著性检验——t检验 | 第17-18页 |
| ·方差分析 | 第18-20页 |
| ·线性回归分析 | 第20-21页 |
| ·聚类分析原理介绍 | 第21-35页 |
| ·聚类分析的概念 | 第21-24页 |
| ·主要聚类方法 | 第24-26页 |
| ·划分方法 | 第26-31页 |
| ·层次方法 | 第31-35页 |
| ·两种基本层次聚类方法 | 第31-33页 |
| ·两种层次聚类方法 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第二章 晶圆失效图形自动识别系统 | 第36-47页 |
| ·失效图形种类概述 | 第36-40页 |
| ·叠图晶圆失效图形判别方法 | 第40-45页 |
| ·数据准备 | 第40-42页 |
| ·簇失效/刮伤型失效/连续性失效的判别方法 | 第42-43页 |
| ·重复性失效的判别方法 | 第43-45页 |
| ·单片晶圆失效图形判别方法 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 三个应用系统的研究与开发 | 第47-66页 |
| ·自动放货系统 | 第47-52页 |
| ·芯片降级处理系统 | 第52-57页 |
| ·基于晶圆失效图形自动识别系统的后续自动数据分析系统 | 第57-64页 |
| ·自动机台比对分析 | 第59-60页 |
| ·自动WAT参数分析 | 第60-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 第四章 结论 | 第66-68页 |
| 附录 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-70页 |
| 后记 | 第70-71页 |