MOCVD温度监测与均匀性研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-11页 |
| 第1章 绪论 | 第11-18页 |
| ·研究背景与立题意义 | 第11-12页 |
| ·MOCVD温度监测与控制 | 第12-14页 |
| ·MOCVD温度监测系统 | 第12-13页 |
| ·反应室温度均匀性 | 第13-14页 |
| ·国内外研究现状综述 | 第14-16页 |
| ·MOCVD控制软件系统 | 第14-15页 |
| ·温度均匀性控制 | 第15-16页 |
| ·课题研究内容及论文组织结构 | 第16-17页 |
| ·课题研究内容 | 第16页 |
| ·论文组织结构 | 第16-17页 |
| ·本章小结 | 第17-18页 |
| 第2章 MOCVD软件系统 | 第18-29页 |
| ·主流软件系统简介 | 第18-19页 |
| ·EpiView | 第18页 |
| ·CACE | 第18-19页 |
| ·基于OPC规范的控制软件系统 | 第19页 |
| ·功能需求分析 | 第19-20页 |
| ·系统可配置性 | 第19-20页 |
| ·工艺执行要求 | 第20页 |
| ·数据收集 | 第20页 |
| ·软件架构设计 | 第20-25页 |
| ·软件总体结构 | 第21-22页 |
| ·软件模块设计 | 第22-24页 |
| ·通信中间软件设计 | 第24-25页 |
| ·基于MVC和C/S模式的GUI设计 | 第25-27页 |
| ·MVC结构简介 | 第25-26页 |
| ·GUI设计 | 第26-27页 |
| ·基于B/S和MSSQL的管理系统 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 MOCVD温度控制软件设计 | 第29-44页 |
| ·温度控制回路 | 第29-31页 |
| ·温控回路结构 | 第29页 |
| ·温控方案 | 第29-31页 |
| ·接口定义与实现 | 第31-39页 |
| ·功能需求分析 | 第31-32页 |
| ·设计要点 | 第32-33页 |
| ·温控接口实现 | 第33-39页 |
| ·接口测试应用程序设计与实现 | 第39-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第4章 反应室温度均匀性控制 | 第44-55页 |
| ·引言 | 第44-45页 |
| ·温度均匀性研究方法 | 第45-48页 |
| ·有限元分析法 | 第45-46页 |
| ·有限体积分析法 | 第46-48页 |
| ·有限元和有限体积分析的并行计算 | 第48页 |
| ·温度均匀性控制 | 第48-51页 |
| ·MOCVD反应室结构 | 第48-49页 |
| ·温度均匀性控制回路 | 第49-51页 |
| ·基于建模和优化的温度均匀性控制 | 第51-54页 |
| ·基于神经网络的在线建模 | 第52-53页 |
| ·仿生优化算法 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第5章 温度均匀性控制仿真 | 第55-66页 |
| ·仿真环境 | 第55-57页 |
| ·仿真数据 | 第57-60页 |
| ·动态仿真数据 | 第57-59页 |
| ·稳态仿真数据 | 第59-60页 |
| ·算法仿真效果 | 第60-65页 |
| ·神经网络建模仿真 | 第61-63页 |
| ·温度均匀控制仿真 | 第63-65页 |
| ·本章小节 | 第65-66页 |
| 第6章 总结与展望 | 第66-69页 |
| ·工作总结 | 第66-67页 |
| ·展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 硕士期间参与的项目和发表的论文 | 第72页 |
