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基于标准微电子工艺制作折射及衍射微光学结构

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
1 绪论第8-14页
   ·课题背景第8-12页
   ·论文主要工作和课题来源第12-14页
2 球面及非球面轮廓的光学透镜第14-31页
   ·制作原理第14-19页
   ·微光学结构设计第19-20页
   ·工艺流程第20-25页
   ·实验结果与讨论第25-30页
   ·小结第30-31页
3 基本相位结构呈非周期分布的衍射微光学元件第31-38页
   ·制作原理第31-33页
   ·衍射结构设计第33-34页
   ·工艺流程第34-35页
   ·实验结果与讨论第35-37页
   ·小结第37-38页
4 用于频谱空间分离的衍射光学元件第38-48页
   ·频谱空间分离理论第38-41页
   ·衍射光学元件设计第41-43页
   ·结果与讨论第43-47页
   ·小结第47-48页
5 棱镜及波前结构第48-51页
   ·设计与制作第48-49页
   ·实验结果第49-50页
   ·小结第50-51页
6 总结第51-52页
致谢第52-53页
参考文献第53-56页
附录1 攻读学位期间发表论文目录第56页

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