| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 概述 | 第8-13页 |
| §1-1 四探针的应用领域 | 第8-9页 |
| 1-1-1 在半导体测量领域中的应用 | 第8-9页 |
| 1-1-2 在其他方面的应用 | 第9页 |
| §1-2 四探针法的分类 | 第9-12页 |
| 1-2-1 直线四探针法 | 第9-10页 |
| 1-2-2 方形四探针法 | 第10-11页 |
| 1-2-3 范德保法 | 第11页 |
| 1-2-4 改进的范德保法 | 第11页 |
| 1-2-5 改进的Rymaszewski 法 | 第11-12页 |
| §1-3 本论文的主要研究内容 | 第12-13页 |
| 第二章 斜置式方形四探针测试厚度修正因子 | 第13-25页 |
| §2-1 直线四探针法和方形四探针法基本原理 | 第13-16页 |
| 2-1-1 直线四探针法基本原理 | 第13-14页 |
| 2-1-2 直线四探针法的测准条件 | 第14页 |
| 2-1-3 直线四探针技术的边缘和厚度修正 | 第14-15页 |
| 2-1-4 方形四探针法基本原理 | 第15-16页 |
| §2-2 方形四探针电阻率微区测量厚度修正 | 第16-24页 |
| 2-2-1 基于改进的Rymaszewski 方形探针测试法的厚度修正 | 第17-19页 |
| 2-2-2 非线性关系的规范化多项式拟 | 第19页 |
| 2-2-3 实验验证 | 第19-24页 |
| §2-3 小结 | 第24-25页 |
| 第三章 人工神经网络在四探针测试理论中的应用 | 第25-36页 |
| §3-1 人工神经网络简介 | 第25-27页 |
| 3-1-1 人工神经网络模型 | 第25-26页 |
| 3-1-2 人工神经网络的分类 | 第26-27页 |
| §3-2 神经网络法拟合范德堡函数 | 第27-35页 |
| 3-2-1 范德堡函数和范德堡函数的局部反演 | 第28-29页 |
| 3-2-2 无学习率权值调整理论 | 第29-31页 |
| 3-2-3 无学习率权值调整神经计算拟合范德堡多项式初始权值的选取 | 第31-32页 |
| 3-2-4 无学习率权值调整神经计算法拟合范德堡多项式 | 第32-33页 |
| 3-2-5 权值调整的软件实现 | 第33-35页 |
| §3-3 小结 | 第35-36页 |
| 第四章 基于单片机的恒流源的研究 | 第36-45页 |
| §4-1 四探针测试系统简介 | 第36-38页 |
| 4-1-1 测试平台及其机械传动系统 | 第36-37页 |
| 4-1-2 电阻率测试系统 | 第37-38页 |
| §4-2 常用恒流源简介 | 第38-40页 |
| 4-2-1 恒流源设计中遵循的原则 | 第38页 |
| 4-2-2 常见的恒流源电路 | 第38-40页 |
| §4-3 基于单片机的恒流源原理 | 第40-44页 |
| 4-3-1 单片机的选用 | 第41页 |
| 4-3-2 LED 显示部分 | 第41-42页 |
| 4-3-3 数模转换芯片的选用 | 第42页 |
| 4-3-4 数模转换芯片的选用 | 第42页 |
| 4-3-5 键盘设计 | 第42-43页 |
| 4-3-6 软件设计 | 第43-44页 |
| §4-4 小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第49页 |
