| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-7页 |
| 第一章 绪 论 | 第7-21页 |
| ·微机电系统概述 | 第7-9页 |
| ·微机电系统测试技术国内外研究现状 | 第9-19页 |
| ·选题背景与论文的主要工作 | 第19-21页 |
| 第二章 基于机器微视觉的MEMS动态测试系统 | 第21-36页 |
| ·基于机器微视觉的MEMS动态测试系统的总体构成 | 第21-22页 |
| ·MEMS动态测试系统的硬件平台 | 第22-26页 |
| ·MEMS动态测试系统的软件平台 | 第26-34页 |
| ·小结 | 第34-36页 |
| 第三章 基于模糊图像合成技术的MEMS器件平面微运动特性的测量 | 第36-58页 |
| ·模糊图像合成技术的测量原理 | 第36-37页 |
| ·基于模糊图像合成技术的MEMS器件运动轨迹的特征提取 | 第37-56页 |
| ·基于模糊图像合成技术的MEMS谐振器特性参数的提取 | 第56-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第四章 基于块匹配技术的MEMS器件平面微运动特性的测量 | 第58-64页 |
| ·基于块匹配技术的测量原理 | 第58页 |
| ·频闪动态成像技术 | 第58-60页 |
| ·基于块匹配的二维运动估计 | 第60-62页 |
| ·基于块匹配技术的MEMS平面动态特性参数的提取 | 第62-63页 |
| ·小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表的文章及所从事的科研项目 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
