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动态磁场集群磁流变抛光机理研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-8页
主要符号表第16-17页
第一章 绪论第17-26页
    1.1 课题的来源和意义第17-18页
        1.1.1 课题的来源第17页
        1.1.2 课题研究的背景及意义第17-18页
    1.2 单晶硅基片超精密加工国内外研究现状第18-23页
        1.2.1 离子束抛光研究现状第19页
        1.2.2 化学机械抛光研究现状第19-20页
        1.2.3 超声复合抛光研究现状第20-21页
        1.2.4 磁流变抛光研究现状第21-23页
    1.3 磁流变抛光材料去除模型的发展研究第23-24页
    1.4 本课题主要研究内容第24-26页
第二章 动态磁场集群磁流变平面抛光机理及实验装置第26-39页
    2.1 引言第26-28页
    2.2 动态磁场集群磁流变平面抛光原理及试验装置第28-32页
        2.2.1 动态磁场作用原理第28-30页
        2.2.2 动态磁场集群磁流变抛光加工原理及实验装置第30-31页
        2.2.3 工件夹持装置第31-32页
    2.3 集群磁流变抛光垫形貌恢复过程以及动态磁场加工试验分析第32-35页
        2.3.1 动态磁场集群磁流变抛光垫的形貌恢复过程第32-33页
        2.3.2 动态磁场加工试验分析第33-35页
    2.4 抛光效果评估方法及检测仪器第35-38页
        2.4.1 表面形貌第35-37页
        2.4.2 表面粗糙度第37页
        2.4.3 材料去除率第37-38页
    2.5 本章小结第38-39页
第三章 动态磁场集群磁流变单工件抛光加工试验第39-55页
    3.1 引言第39页
    3.2 动态磁场集群磁流变单工件抛光试验方法及加工条件第39-41页
        3.2.1 试验材料第39页
        3.2.2 试验设计以及试验条件第39-41页
    3.3 动态磁场集群磁流变单工件加工效果研究第41-49页
        3.3.1 加工间隙对抛光效果的影响第41-42页
        3.3.2 磁极偏心距对抛光效果的影响第42-44页
        3.3.3 加工时间对抛光效果的影响第44-46页
        3.3.4 偏摆方式对抛光效果的影响第46-47页
        3.3.5 偏摆位移对抛光效果的影响第47-49页
    3.4 正交实验结果及分析第49-51页
        3.4.1 正交实验第49页
        3.4.2 结果分析第49-51页
    3.5 最佳工艺参数的加工效果第51-52页
    3.6 多磁极与单磁极加工原理第52-53页
    3.7 本章小结第53-55页
第四章 动态磁场集群磁流变多工件抛光加工试验第55-71页
    4.1 引言第55页
    4.2 不同抛光方式的抛光效果第55-57页
    4.3 动态磁场集群磁流变多工件抛光试验方法及加工条件第57-58页
        4.3.1 试验材料第57页
        4.3.2 试验设计以及试验条件第57-58页
    4.4 动态磁场集群磁流变多工件抛光试验分析第58-68页
        4.4.1 动态磁场集群磁流变多工件抛光特性分析第58-60页
        4.4.2 加工间隙对抛光效果的影响第60-61页
        4.4.3 抛光盘转速对抛光效果的影响第61-63页
        4.4.4 工件转速对抛光效果的影响第63-64页
        4.4.5 偏摆位移对抛光效果的影响第64-67页
        4.4.6 加工时间对抛光效果的影响第67-68页
    4.5 最佳工艺参数的抛光效果第68-69页
    4.6 本章小结第69-71页
第五章 动态磁场集群磁流变平面抛光的材料去除模型第71-85页
    5.1 引言第71页
    5.2 动态磁场集群磁流变平面抛光的材料去除模型第71-80页
        5.2.1 不同抛光方式下抛光力P的求解第71-78页
        5.2.2 相对速度V的求解第78-80页
    5.3 工艺参数对材料去除率MRR影响规律的理论研究第80-83页
        5.3.1 工件表面不同径向位置的材料去除率规律第80页
        5.3.2 加工间隙对材料去除率的影响规律第80-81页
        5.3.3 抛光盘转速对材料去除率的影响规律第81-82页
        5.3.4 工件转速对材料去除率的影响规律第82-83页
    5.4 本章小结第83-85页
总结与展望第85-87页
参考文献第87-92页
攻读学位期间所取得的研究成果第92-94页
致谢第94页

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