| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第10-13页 |
| 1.2.1 设备本质安全化理念研究 | 第10-11页 |
| 1.2.2 国内设备安全管理的研究 | 第11页 |
| 1.2.3 设备管理系统工程研究 | 第11页 |
| 1.2.4 国外设备安全管理的研究 | 第11-12页 |
| 1.2.5 半导体设备安全性要求 | 第12-13页 |
| 1.3 研究目标及研究内容 | 第13-14页 |
| 1.3.1 研究目标 | 第13-14页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第14页 |
| 1.4 拟采取的研究方法 | 第14-16页 |
| 1.4.1 技术路线 | 第14-16页 |
| 第2章 半导体显示制造企业危险性分析 | 第16-22页 |
| 2.1 工作环境危险性分析 | 第16页 |
| 2.1.1 半导体制造场所危险因素分析 | 第16页 |
| 2.2 生产过程危险有害因素分析 | 第16-19页 |
| 2.2.1 火灾产生原因分析 | 第17页 |
| 2.2.2 生产过程中化学品危害分析 | 第17-18页 |
| 2.2.3 生产过程中机械伤害分析 | 第18-19页 |
| 2.3 设备维护与检修危险性分析 | 第19页 |
| 2.4 突发情况危险性分析 | 第19-22页 |
| 2.4.1 生产安全突发事件 | 第19-20页 |
| 2.4.2 生产安全突发事件的特点 | 第20页 |
| 2.4.3 生产安全突发事件的影响 | 第20-22页 |
| 第3章 设备安全认证的安全技术要求 | 第22-27页 |
| 3.1 设备安全认证的目的 | 第22页 |
| 3.2 一般性安全要求 | 第22-23页 |
| 3.3 设备安全要求 | 第23-27页 |
| 3.3.1 设备涉及气体的安全要求和措施 | 第23-24页 |
| 3.3.2 设备涉及液体的安全要求和措施 | 第24页 |
| 3.3.3 设备电气的安全要求和措施 | 第24-25页 |
| 3.3.4 设备涉及安全防护的安全要求和措施 | 第25页 |
| 3.3.5 设备涉及危化品的安全要求和措施 | 第25-26页 |
| 3.3.6 设备涉及保护装置和侦测装置的安全要求和措施 | 第26-27页 |
| 第4章 设备安全认证管理体系 | 第27-38页 |
| 4.1 设备安全认证管理理论基础 | 第27-30页 |
| 4.1.1 全生命周期原理 | 第27-28页 |
| 4.1.2 构建设备全生命周期管理的职能模型 | 第28页 |
| 4.1.3 构建设备全生命周期管理的概念模型 | 第28-29页 |
| 4.1.4 设备全生命周期管理措施 | 第29-30页 |
| 4.2 设备安全认证管理模型分析 | 第30-31页 |
| 4.3 设备安全认证管理体系的构成 | 第31-38页 |
| 4.3.1 组织分工 | 第31-32页 |
| 4.3.2 运行流程 | 第32-34页 |
| 4.3.3 闭环管控 | 第34-38页 |
| 4.3.3.1 从全生命周期控制设备安全 | 第34页 |
| 4.3.3.2 完善设备安全管理模式 | 第34-35页 |
| 4.3.3.3 加强设备运行安全管控 | 第35-37页 |
| 4.3.3.4 加强人员安全培训与教育 | 第37-38页 |
| 第5章 半导体显示制造企业事故案例分析 | 第38-43页 |
| 5.1 火灾事故论证分析 | 第38页 |
| 5.2 触电事故论证分析 | 第38-39页 |
| 5.3 机械伤害事故案例论证分析 | 第39-41页 |
| 5.4 职业健康事故案例论证分析 | 第41-43页 |
| 第6章 某公司设备安全认证应用分析 | 第43-48页 |
| 6.1 某公司设备安全认证情况介绍 | 第43页 |
| 6.2 某公司设备安全认证实例 | 第43-46页 |
| 6.2.1 PECVD设备用水认证 | 第43-44页 |
| 6.2.2 PECVD设备用气认证 | 第44页 |
| 6.2.3 PECVD设备用电及防护认证 | 第44-45页 |
| 6.2.4 设备标识与管理认证要求 | 第45-46页 |
| 6.3 某公司设备安全认证前后数据统计及事故对比 | 第46-48页 |
| 结论 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-52页 |