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仿生蛾眼抗反射微结构光学机理研究

摘要第4-5页
ABSTRACT第5-6页
第一章 绪论第8-16页
    1.1 研究目的及意义第8-10页
    1.2 仿生蛾眼微纳结构的研究现状第10-14页
    1.3 本论文主要研究内容第14-16页
第二章 亚波长微结构衍射光学分析方法第16-36页
    2.1 亚波长微结构的模拟方法概述第16-19页
    2.2 严格模式分析方法第19-25页
    2.3 严格耦合波分析方法(RCWA)第25-35页
    2.4 本章小结第35-36页
第三章 蛾眼微纳结构参数与性能关系研究第36-51页
    3.1 高级次衍射波倏逝条件第36-39页
    3.2 一维光栅偏振效应分析第39-48页
    3.3 二维亚波长微结构的偏振特性第48-50页
    3.4 本章小结第50-51页
第四章 仿生“蛾眼”微纳结构阵列的设计与仿真第51-79页
    4.1 圆柱形抗反射微纳结构研究第51-65页
    4.2 圆孔形抗反射微纳结构研究第65-68页
    4.3 圆锥形抗反射微纳结构研究第68-72页
    4.4 抛物面形抗反射微纳结构研究第72-74页
    4.5 高斯面形抗反射微纳结构研究第74-78页
    4.6 本章小结第78-79页
第五章 仿生蛾眼抗反射微纳结构的制作与测试第79-118页
    5.1 光刻技术制作抗反射微纳结构阵列第79-112页
    5.2 化学沉银技术制作随机排布的蛾眼微纳结构第112-115页
    5.3 湿法刻蚀技术制作蛾眼微结构第115-117页
    5.4 本章小结第117-118页
第六章 结论与展望第118-120页
    6.1 工作总结第118页
    6.2 创新性工作第118-119页
    6.3 展望第119-120页
致谢第120-121页
参考文献第121-128页
攻读博士学位期间取得的学术研究成果第128页

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