仿生蛾眼抗反射微结构光学机理研究
摘要 | 第4-5页 |
ABSTRACT | 第5-6页 |
第一章 绪论 | 第8-16页 |
1.1 研究目的及意义 | 第8-10页 |
1.2 仿生蛾眼微纳结构的研究现状 | 第10-14页 |
1.3 本论文主要研究内容 | 第14-16页 |
第二章 亚波长微结构衍射光学分析方法 | 第16-36页 |
2.1 亚波长微结构的模拟方法概述 | 第16-19页 |
2.2 严格模式分析方法 | 第19-25页 |
2.3 严格耦合波分析方法(RCWA) | 第25-35页 |
2.4 本章小结 | 第35-36页 |
第三章 蛾眼微纳结构参数与性能关系研究 | 第36-51页 |
3.1 高级次衍射波倏逝条件 | 第36-39页 |
3.2 一维光栅偏振效应分析 | 第39-48页 |
3.3 二维亚波长微结构的偏振特性 | 第48-50页 |
3.4 本章小结 | 第50-51页 |
第四章 仿生“蛾眼”微纳结构阵列的设计与仿真 | 第51-79页 |
4.1 圆柱形抗反射微纳结构研究 | 第51-65页 |
4.2 圆孔形抗反射微纳结构研究 | 第65-68页 |
4.3 圆锥形抗反射微纳结构研究 | 第68-72页 |
4.4 抛物面形抗反射微纳结构研究 | 第72-74页 |
4.5 高斯面形抗反射微纳结构研究 | 第74-78页 |
4.6 本章小结 | 第78-79页 |
第五章 仿生蛾眼抗反射微纳结构的制作与测试 | 第79-118页 |
5.1 光刻技术制作抗反射微纳结构阵列 | 第79-112页 |
5.2 化学沉银技术制作随机排布的蛾眼微纳结构 | 第112-115页 |
5.3 湿法刻蚀技术制作蛾眼微结构 | 第115-117页 |
5.4 本章小结 | 第117-118页 |
第六章 结论与展望 | 第118-120页 |
6.1 工作总结 | 第118页 |
6.2 创新性工作 | 第118-119页 |
6.3 展望 | 第119-120页 |
致谢 | 第120-121页 |
参考文献 | 第121-128页 |
攻读博士学位期间取得的学术研究成果 | 第128页 |