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基于3D-TSV叠层封装的Sn单晶粒微凸点研究

摘要第4-5页
Abstract第5-6页
1 绪论第9-22页
    1.1 集成电路封装技术的发展第9-10页
    1.2 三维叠层封装技术(3D integration)第10-14页
    1.3 国内外研究现状第14-21页
    1.4 本文研究内容第21-22页
2 微凸点的制备工艺第22-32页
    2.1 引言第22页
    2.2 试验原理及方法第22-31页
    2.3 本章小结第31-32页
3 等温时效条件下的界面微观组织演变第32-47页
    3.1 引言第32页
    3.2 回流焊接过程中的界面行为第32-37页
    3.3 等温时效条件下的 IMC 生长规律第37-45页
    3.4 本章小结第45-47页
4 Sn 单晶粒微焊点在热循环条件下的有限元仿真研究第47-57页
    4.1 引言第47页
    4.2 结构模型的建立及参数的选择第47-52页
    4.3 计算结果与分析第52-56页
    4.4 本章小结第56-57页
5 全文总结及创新点第57-59页
    5.1 全文总结第57-58页
    5.2 创新点第58页
    5.3 研究展望第58-59页
致谢第59-60页
参考文献第60-66页
附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文第66页

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