基于碳纳米管的硅通孔电气建模与信号完整性研究

摘要	第1-4页
Abstract	第4-6页
第一章 绪论	第6-10页
·研究内容和意义	第6页
·国内外的研究现状	第6-8页
·本文的主要工作及各章节安排	第8-10页
第二章 碳纳米管概述	第10-18页
·碳纳米管的分类	第10-13页
·碳纳米管的结构	第13-14页
·碳纳米管的制备	第14-15页
·碳纳米管的特性与应用	第15-17页
·本章小结	第17-18页
第三章 碳纳米管互连线等效电路模型	第18-32页
·相关基本理论	第18-19页
·单壁碳纳米管互连线	第19-25页
·双壁碳纳米管互连线	第25-28页
·多壁碳纳米管互连线	第28-30页
·本章小结	第30-32页
第四章 三维集成电路中硅通孔等效建模	第32-42页
·硅通孔的结构	第32-35页
·硅通孔等效电路模型	第35-37页
·硅通孔电路模型仿真验证	第37-40页
·本章小结	第40-42页
第五章 碳纳米管束填充的硅通孔	第42-54页
·碳纳米管束填充的硅通孔建模	第42-47页
·碳纳米管束填充的硅通孔信号完整性分析	第47-53页
·本章小结	第53-54页
第六章 总结与展望	第54-56页
致谢	第56-58页
参考文献	第58-64页
作者在读期间的研究成果	第64-65页