基于SECS的半导体自动控制系统设计与实现
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-14页 |
| ·论文研究的背景 | 第9-10页 |
| ·研究的目的和意义 | 第10-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·论文的主要工作和结构安排 | 第12-14页 |
| ·论文的主要工作 | 第12页 |
| ·本文的结构安排 | 第12-14页 |
| 第二章 半导集成电路与 SECS 通信基础 | 第14-29页 |
| ·半导体的制程介绍 | 第14-19页 |
| ·半导体前段制程介绍 | 第15-18页 |
| ·半导体后道制程介绍 | 第18-19页 |
| ·半导体自动化通信协议 SECS | 第19-25页 |
| ·SECSI | 第19-21页 |
| ·SECS II 介绍 | 第21-25页 |
| ·半导体通信软件 RV | 第25-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 黄光 APC 系统总体方案设计 | 第29-39页 |
| ·APC 系统的概述 | 第29-32页 |
| ·APC 的资料收集 | 第29-30页 |
| ·APC 系统的反馈功能 | 第30-32页 |
| ·黄光 APC 系统的需求调研 | 第32-35页 |
| ·系统需求分析注意事项 | 第32页 |
| ·黄光区系统需求收集 | 第32-35页 |
| ·黄光区生产流程 | 第32-33页 |
| ·黄光区 APC 的反馈 | 第33-34页 |
| ·黄光 APC 与 MES 系统的关联 | 第34-35页 |
| ·黄光 APC 的总体设计 | 第35-39页 |
| ·黄光 APC 的总体设计思路 | 第35-36页 |
| ·黄光 APC 的业务要求 | 第36-37页 |
| ·黄光 APC 的系统要求 | 第37页 |
| ·黄光 APC 的数据库选择 | 第37-38页 |
| ·黄光 APC 的系统架构 | 第38-39页 |
| 第四章 系统的详细设计与实现 | 第39-70页 |
| ·EAP 模块的详细设计与实现 | 第39-50页 |
| ·黄光 APC 的 DC 系统实现 | 第39-43页 |
| ·黄光 APC 的 FC 系统实现 | 第43-50页 |
| ·APC 服务模块设计 | 第50-60页 |
| ·APC 服务的架构设计 | 第50-53页 |
| ·APC 服务的数据库实现 | 第53-55页 |
| ·APC 服务的业务逻辑实现 | 第55-60页 |
| ·APC UI 设计实现 | 第60-64页 |
| ·APC UI 的设计思路 | 第60-61页 |
| ·APC UI 的逻辑实现 | 第61-64页 |
| ·系统展示 | 第64-68页 |
| ·本章小结 | 第68-70页 |
| 第五章 总结与展望 | 第70-71页 |
| ·本文工作总结 | 第70页 |
| ·未来工作展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-73页 |
| 攻读学位期间公开发表的论文 | 第73-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
