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PLD法制备氧化物异质结器件的研究

摘要第1-6页
Abstract第6-7页
致谢第7-12页
第一章 绪论第12-23页
   ·引言第12页
   ·ZnO第12-15页
     ·ZnO 的结构第13页
     ·ZnO 在光电方面的优点第13-14页
     ·ZnO 的研究进展第14-15页
   ·NiO第15-16页
     ·NiO 的结构第15页
     ·NiO 材料的应用第15-16页
     ·PLD 法制备 NiO 薄膜的研究进展第16页
   ·Cu_2ZnSnS_4( CZTS)第16-17页
     ·CZTS 结构第16-17页
     ·CZTS 的研究进展第17页
   ·pn 结第17-19页
     ·pn 结的应用第18页
     ·pn 结的发展第18-19页
   ·晶体二极管的基本原理第19-20页
     ·整流特性第19-20页
     ·击穿特性第20页
   ·太阳能电池的基本原理第20-22页
   ·本论文主要内容第22-23页
第二章 薄膜的沉积技术与表征手段第23-32页
   ·脉冲激光沉积( PLD )技术第23-27页
     ·PLD 原理第24-25页
     ·脉冲激光沉积的优缺点第25-26页
     ·PLD 法制备 ZnO 薄膜的发展第26-27页
     ·实验所用的脉冲激光沉积设备第27页
   ·磁控溅射( Magnetron Sputtering)第27-28页
     ·磁控溅射原理第27-28页
     ·磁控溅射的优点第28页
     ·实验所用磁控溅射设备第28页
   ·电子束蒸发( Electron Beam Evaporation)第28-29页
     ·电子束蒸发的优缺点第28-29页
     ·实验所用电子束蒸发设备第29页
   ·薄膜和器件的表征手段第29-32页
     ·X 射线衍射( X-ray diffraction)第29-30页
     ·原子力显微镜( Atomic Force Microscope)第30页
     ·扫描电子显微镜 ( Scanning Electron Microscope)第30-31页
     ·电学特性测试第31页
     ·四探针测试第31-32页
第三章 ZnO、 NiO 和 CZTS 薄膜的制备第32-40页
   ·靶材的制备第32-33页
     ·ZnO 和 NiO 靶材的制备第32页
     ·CZTS 靶材的制备第32-33页
   ·靶材的表征第33-34页
   ·Si 基片上制备 ZnO 薄膜第34-35页
   ·Si 基片上沉积 NiO 薄膜第35-36页
   ·Si 基片上沉积 CZTS 薄膜第36-38页
   ·本章小结第38-40页
第四章 NiO/ZnO 异质结器件的制备第40-48页
   ·金属与半导体的接触理论第40-41页
   ·电极的制备第41-43页
   ·器件的结构第43-44页
   ·器件的制备第44页
   ·四探针测试第44-45页
   ·ZnO 层的表面形貌第45-46页
   ·器件的 I - V 测试第46-47页
   ·本章小结第47-48页
第五章 CZTS/ZnO 异质结器件的制备第48-56页
   ·电极的制备第48页
   ·CZTS/ZnO 结构第48-51页
   ·CZTS/ZnO/AZO 结构第51-55页
     ·ZnO 薄膜层沉积 30 min第51-52页
     ·ZnO 薄膜层沉积 15 min第52-55页
   ·本章小结第55-56页
第六章 结论第56-57页
参考文献第57-61页
攻读硕士学位期间发表的论文第61-62页

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