| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第12-18页 |
| 1.1 选题背景及研究意义 | 第12-13页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第13-16页 |
| 1.2.1 快速热退火工艺中图案效应的研究 | 第14页 |
| 1.2.2 激光尖峰退火工艺中晶圆片温度分布的研究 | 第14-15页 |
| 1.2.3 激光尖峰退火工艺中晶圆片应力分布的研究 | 第15-16页 |
| 1.3 本文的主要研究内容及方法 | 第16-18页 |
| 1.3.1 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 1.3.2 研究方法 | 第17-18页 |
| 第2章 数值模拟基本理论及方法 | 第18-30页 |
| 2.1 激光辐照材料表面的光学理论 | 第18-19页 |
| 2.1.1 激光辐照材料的能量分析 | 第18页 |
| 2.1.2 激光在材料中的传播及吸收理论 | 第18-19页 |
| 2.2 固体传热原理及描述 | 第19-23页 |
| 2.2.1 热传递的基本理论 | 第19-20页 |
| 2.2.2 温度场的基本概念 | 第20-21页 |
| 2.2.3 导热微分方程 | 第21-22页 |
| 2.2.4 导热问题的定解条件 | 第22-23页 |
| 2.3 固体脆性材料热弹塑性理论 | 第23-27页 |
| 2.3.1 激光加热脆性材料力学过程分析 | 第23页 |
| 2.3.2 热弹性问题分析 | 第23-25页 |
| 2.3.3 热塑性问题分析 | 第25-27页 |
| 2.4 有限元方法及COMSOL Multiphysic软件简介 | 第27-28页 |
| 2.4.1 有限元方法概述 | 第27-28页 |
| 2.4.2 COMSOL Multiphysics软件简介 | 第28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 第3章 连续激光扫描光栅式晶圆片温度场的数值模拟 | 第30-54页 |
| 3.1 物理模型的建立 | 第30-32页 |
| 3.1.1 几何模型建立 | 第30-31页 |
| 3.1.2 材料属性设置 | 第31页 |
| 3.1.3 网格划分 | 第31-32页 |
| 3.2 控制方程及定解条件 | 第32-35页 |
| 3.2.1 温度场控制方程 | 第32-33页 |
| 3.2.2 定解条件 | 第33-35页 |
| 3.3 模型验证 | 第35页 |
| 3.4 模拟结果及分析 | 第35-52页 |
| 3.4.1 温度场整体分析 | 第35-40页 |
| 3.4.2 光栅特征参数对温度场的影响 | 第40-47页 |
| 3.4.3 激光功率对温度场的影响 | 第47-50页 |
| 3.4.4 激光束移动速度对温度场的影响 | 第50-52页 |
| 3.5 固定参数下退火工艺参数的范围研究 | 第52-53页 |
| 3.6 本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 连续激光扫描光栅式晶圆片应力场的数值模拟 | 第54-80页 |
| 4.1 热应力的求解方法 | 第54页 |
| 4.2 物理模型的建立 | 第54-57页 |
| 4.2.1 热弹塑性问题的有限元表述 | 第54-56页 |
| 4.2.2 边界条件的处理 | 第56页 |
| 4.2.3 材料物性参数的选取及网格划分 | 第56-57页 |
| 4.2.4 晶圆片材料的屈服和破坏 | 第57页 |
| 4.3 模拟结果及分析 | 第57-77页 |
| 4.3.1 应力场整体分析 | 第57-65页 |
| 4.3.2 光栅特征参数对应力场的影响 | 第65-72页 |
| 4.3.3 激光功率对应力场的影响 | 第72-75页 |
| 4.3.4 激光束移动速度对应力场的影响 | 第75-77页 |
| 4.4 固定参数下退火工艺参数的范围研究 | 第77-78页 |
| 4.5 本章小结 | 第78-80页 |
| 第5章 结论 | 第80-82页 |
| 参考文献 | 第82-86页 |
| 致谢 | 第86-88页 |
| 攻读学位期间发表的论著及获奖情况 | 第88页 |
