| 致谢 | 第1-7页 |
| 摘要 | 第7-8页 |
| ABSTRACT | 第8-10页 |
| 缩略词表 | 第10-11页 |
| 目次 | 第11-14页 |
| 1 绪论 | 第14-26页 |
| ·ESD现象概论 | 第14-17页 |
| ·ESD防护设计要求以及TCAD工具辅助ESD设计的必要性 | 第17-20页 |
| ·工艺和器件模拟TCAD软件的发展历史 | 第20-21页 |
| ·工艺和器件仿真的基本流程 | 第21-24页 |
| ·国内外研究现状 | 第24-25页 |
| ·本论文研究工作 | 第25-26页 |
| 2 工艺仿真的模型分析 | 第26-44页 |
| ·网格定义 | 第26-30页 |
| ·工艺流程模拟 | 第30-42页 |
| ·淀积 | 第30-31页 |
| ·刻蚀 | 第31-34页 |
| ·离子注入 | 第34-37页 |
| ·氧化 | 第37-40页 |
| ·扩散 | 第40-42页 |
| ·结构操作及保存输出 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 3 器件仿真的物理模型分析 | 第44-60页 |
| ·传输方程模型 | 第44-46页 |
| ·能带模型 | 第46-48页 |
| ·迁移率模型 | 第48-55页 |
| ·晶格散射引起的迁移率退化 | 第49页 |
| ·电离杂质散射引起的迁移率退化 | 第49-52页 |
| ·载流子间散射引起的迁移率退化 | 第52-53页 |
| ·高场饱和引起的迁移率退化 | 第53-55页 |
| ·表面散射引起的迁移率退化 | 第55页 |
| ·雪崩离化模型 | 第55-57页 |
| ·复合模型 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 4 ESD防护器件的仿真 | 第60-86页 |
| ·ESD仿真中的物理模型选择 | 第60-64页 |
| ·热边界条件的设定 | 第64-65页 |
| ·ESD器件仿真中收敛性问题解决方案 | 第65-70页 |
| ·模型参数对关键性能参数仿真结果的影响 | 第70-74页 |
| ·不同结构的触发电压和维持电压仿真 | 第74-80页 |
| ·N+_MLSCR的触发电压及维持电压仿真 | 第75-76页 |
| ·P+_MLSCR的触发电压和维持电压仿真 | 第76-78页 |
| ·LVTSCR的触发电压和维持电压的仿真 | 第78-79页 |
| ·仿真结果统计 | 第79-80页 |
| ·二次击穿电流的仿真 | 第80-85页 |
| ·现有方法局限性 | 第80-81页 |
| ·单脉冲TLP波形瞬态仿真方法介绍 | 第81-82页 |
| ·多脉冲TLP波形仿真介绍 | 第82-85页 |
| ·本章小结 | 第85-86页 |
| 5 总结与展望 | 第86-88页 |
| ·总结 | 第86页 |
| ·展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-92页 |
| 附录 | 第92-98页 |
| 附录一 能带模型默认参数 | 第92-93页 |
| 附录二 迁移率模型默认参数 | 第93-95页 |
| 附录三 雪崩离化模型默认参数 | 第95-96页 |
| 附录四 复合率模型默认参数 | 第96-98页 |
| 作者简历及在学期间所取得的科研成果 | 第98-99页 |