| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 1. 绪论 | 第10-20页 |
| ·课题背景及研究意义 | 第10-16页 |
| ·光刻技术简介 | 第10-11页 |
| ·浸没式光刻系统中的偏振照明 | 第11-16页 |
| ·偏振性能测量技术的国内外发展现状 | 第16-18页 |
| ·本文的主要研究内容 | 第18-20页 |
| 2. 光偏振态的描述方法和检测方法 | 第20-41页 |
| ·光偏振态的描述 | 第21-31页 |
| ·光的偏振态 | 第21-22页 |
| ·三角函数表示法 | 第22-25页 |
| ·琼斯矢量表示法 | 第25-26页 |
| ·Stokes矢量表示法 | 第26-30页 |
| ·邦加球表示法 | 第30-31页 |
| ·偏振检测方法 | 第31-41页 |
| ·1/4 波片-偏振片法测量Stokes矢量 | 第32-33页 |
| ·圆偏振片测量Stokes矢量 | 第33-36页 |
| ·零位法测量Stokes矢量 | 第36-38页 |
| ·旋转 1/4 波片法测量Stokes矢量的傅立叶分析 | 第38-41页 |
| 3. 基于旋转波片法偏振性能测量系统及误差分析 | 第41-63页 |
| ·测量系统 | 第41-49页 |
| ·测量器件选择 | 第44-48页 |
| ·数据处理方法的选择 | 第48-49页 |
| ·系统误差对偏振检测精度的影响 | 第49-58页 |
| ·光源均匀性对测量精度的影响 | 第49-50页 |
| ·偏光棱镜的透光轴角度误差对测量精度的影响 | 第50-52页 |
| ·波片的快轴角度误差对测量精度的影响 | 第52-53页 |
| ·波片相位延迟误差对测量精度的影响 | 第53-55页 |
| ·电机转动精度对测量精度的影响 | 第55-56页 |
| ·CCD噪声对测量精度的影响 | 第56-58页 |
| ·器件误差校准 | 第58-62页 |
| ·校准原理 | 第58-60页 |
| ·误差校准仿真分析 | 第60-62页 |
| ·测量精度理论分析 | 第62-63页 |
| 4. 偏振性能测量实验及结果分析 | 第63-70页 |
| ·搭建实验平台 | 第63-64页 |
| ·实验数据和分析 | 第64-70页 |
| 5. 总结与展望 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-74页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第74-75页 |