| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-25页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·硅基光子学的研究现状 | 第13-19页 |
| ·硅基激光器 | 第15-16页 |
| ·硅基电光调制器 | 第16-17页 |
| ·硅基光电探测器 | 第17-18页 |
| ·硅基非线性效应的研究： | 第18-19页 |
| ·表面等离子体波的原理与应用 | 第19-23页 |
| ·表面等离子体光波导 | 第20页 |
| ·表面等离子体耦合器 | 第20-21页 |
| ·表面等离子体调制器 | 第21-22页 |
| ·表面等离子体在非线性光学中的应用 | 第22-23页 |
| ·论文的主要内容与章节安排 | 第23-25页 |
| 第二章 基于硅基表面等离子体混合移相器的电光调制器 | 第25-38页 |
| ·研究背景 | 第25-27页 |
| ·与硅基表面等离子体混合移相器相集成的硅基高速调制器 | 第27-35页 |
| ·硅基-表面等离子体混合移相器的结构 | 第27-29页 |
| ·硅基表面等离子体移相器中的模式分析 | 第29-32页 |
| ·硅基跑道型微环谐振腔调制器 | 第32-33页 |
| ·调制性能分析 | 第33-35页 |
| ·本调制器对加工误差和对准误差的灵敏度 | 第35-37页 |
| ·本调制器的加工可行性 | 第37页 |
| ·本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 基于金属-狭缝-电介质波导的硅基移相器 | 第38-59页 |
| ·研究背景 | 第38-40页 |
| ·金属-狭缝-电介质硅基移相器的结构与工作原理 | 第40-43页 |
| ·基于金属-狭缝-电介质硅基移相器的 16QAM 调制器研究 | 第43-50页 |
| ·研究背景 | 第43页 |
| ·现有单片集成高阶调制方案 | 第43-47页 |
| ·基于金属-狭缝-电介质硅基移相器的 MZM 结构 | 第47-49页 |
| ·基于双驱动的马赫曾德 16QAM 调制器设计方案 | 第49-50页 |
| ·硅基表面等离子体移相器加工工艺 | 第50-58页 |
| ·硅基波导的加工工艺简介 | 第50-52页 |
| ·表面等离子体加工工艺简介 | 第52-54页 |
| ·金属-聚合物狭缝-电介质移相器加工工艺 | 第54-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第四章 级联硅基微环谐振腔中的推挽式光非互易性传输 | 第59-68页 |
| ·研究背景 | 第59-60页 |
| ·器件的结构和工作原理 | 第60-62页 |
| ·实验结果与讨论 | 第62-67页 |
| ·本章小结 | 第67-68页 |
| 第五章 结束语 | 第68-71页 |
| ·主要工作与创新点 | 第68-69页 |
| ·后续研究工作 | 第69-71页 |
| 参考文献 | 第71-80页 |
| 附录 缩略语 | 第80-82页 |
| 致谢 | 第82-83页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的研究成果 | 第83-84页 |
| 附件 | 第84-86页 |
