| 摘要 | 第1-3页 |
| ABSTRACT | 第3-5页 |
| 第一章 绪论 | 第5-10页 |
| 第二章 干法刻蚀的介绍 | 第10-28页 |
| ·刻蚀、干法刻蚀和湿法腐蚀 | 第10-11页 |
| ·干法刻蚀的原理 | 第11-14页 |
| ·干法刻蚀的分类 | 第14-18页 |
| ·干法刻蚀设备 | 第18-23页 |
| ·干法刻蚀的刻蚀参数与工艺参数 | 第23-28页 |
| 第三章 金属刻蚀的研究 | 第28-63页 |
| ·金属刻蚀的介绍 | 第28-39页 |
| ·关于铝刻蚀工艺的研究 | 第39-54页 |
| ·关于去胶腔清洗工艺的研究与开发 | 第54-63页 |
| 第四章 结论 | 第63-67页 |
| ·关于铝刻蚀工艺研究的总结 | 第63-64页 |
| ·关于去胶腔干法清洗工艺开发和研究的总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第70-71页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第71-73页 |