| 摘要 | 第3-4页 |
| ABSTRACT | 第4页 |
| 第一章 引言 | 第8-15页 |
| 1.1 铝金属蚀刻概述 | 第8-9页 |
| 1.2 铝金属腐蚀现状分析 | 第9-13页 |
| 1.3 课题研究目标和方向 | 第13-14页 |
| 1.4 课题实施方案 | 第14-15页 |
| 第二章 90NM 存储类产品铝金属蚀刻腐蚀解决方案 | 第15-24页 |
| 2.1 无甲烷（CH4）/甲烷（CH4）铝金属蚀刻工艺实验 | 第16-18页 |
| 2.2 增加甲烷（CH4）流量的铝金属蚀刻工艺实验 | 第18-20页 |
| 2.3 改善化学清洗方式的工艺实验 | 第20-23页 |
| 2.4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 90NM 逻辑类产品铝金属蚀刻腐蚀解决方案 | 第24-35页 |
| 3.1 无甲烷（CH4）/甲烷（CH4）铝金属蚀刻工艺实验 | 第24-26页 |
| 3.2 干法蚀刻针对聚合物过量的实验 | 第26-30页 |
| 3.3 改善化学清洗方式的工艺实验 | 第30-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-35页 |
| 第四章 45NM 逻辑类产品铝金属蚀刻腐蚀解决方案 | 第35-40页 |
| 4.1 针对甲烷（CH4）流量的铝金属蚀刻工艺实验 | 第35-37页 |
| 4.2 改善化学清洗方式的工艺实验 | 第37-38页 |
| 4.3 本章小结 | 第38-40页 |
| 第五章 结束语 | 第40-42页 |
| 5.1 主要工作与创新点 | 第40-41页 |
| 5.2 后续研究工作 | 第41-42页 |
| 参考文献 | 第42-44页 |
| 致谢 | 第44-45页 |
| 攻读硕士学位期间已发表或录用的论文 | 第45-48页 |
| 上海交通大学学位论文答辩决议书 | 第48页 |
