| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第14-50页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第14-33页 |
| 1.1.1 集成电路 | 第14-17页 |
| 1.1.2 摩尔定律 | 第17-19页 |
| 1.1.3 投影光刻工艺 | 第19-20页 |
| 1.1.4 投影光刻机 | 第20-33页 |
| 1.2 国内外的发展现状 | 第33-47页 |
| 1.2.1 投影光刻物镜的像质补偿 | 第33-43页 |
| 1.2.2 投影光刻物镜的偏振像差 | 第43-47页 |
| 1.3 论文的主要研究内容和结构安排 | 第47-50页 |
| 1.3.1 论文主要研究内容 | 第47-48页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第48-50页 |
| 第2章 投影光刻物镜成像理论 | 第50-78页 |
| 2.1 投影光刻物镜的标量成像理论 | 第51-52页 |
| 2.2 标量像质评价方法 | 第52-63页 |
| 2.2.1 波像差 | 第53-54页 |
| 2.2.2 泽尼克圆多项式分解波像差 | 第54-60页 |
| 2.2.3 其他种类的泽尼克多项式 | 第60-62页 |
| 2.2.4 校准PSF质心畸变 | 第62-63页 |
| 2.3 投影光刻物镜的矢量成像理论 | 第63-65页 |
| 2.4 矢量像质评价方法 | 第65-77页 |
| 2.4.1 二向衰减 | 第65-67页 |
| 2.4.2 延迟 | 第67-69页 |
| 2.4.3 Jones矩阵的奇异值分解 | 第69-71页 |
| 2.4.4 方向泽尼克多项式 | 第71-77页 |
| 2.5 本章小结 | 第77-78页 |
| 第3章 高NA投影光刻物镜标量像质补偿：一维公差 | 第78-98页 |
| 3.1 NA 1.35 投影光刻物镜设计结果 | 第78-80页 |
| 3.2 公差分类 | 第80-83页 |
| 3.3 光学复算 | 第83-84页 |
| 3.4 计算机辅助装调 | 第84-91页 |
| 3.4.1 计算机辅助装调的数学模型 | 第85-87页 |
| 3.4.2 补偿器的选择 | 第87-88页 |
| 3.4.3 计算机辅助装调仿真 | 第88-91页 |
| 3.5 面形精修 | 第91-97页 |
| 3.5.1 精修面的选择 | 第92-93页 |
| 3.5.2 面形精修的补偿能力 | 第93-94页 |
| 3.5.3 面形精修的数学模型 | 第94-95页 |
| 3.5.4 面形精修仿真 | 第95-97页 |
| 3.6 本章小结 | 第97-98页 |
| 第4章 高NA投影光刻物镜标量像质补偿：二维公差 | 第98-122页 |
| 4.1 折射率均匀性公差的建模 | 第98-102页 |
| 4.1.1 干涉图表示折射率均匀性公差的不足 | 第98-99页 |
| 4.1.2 Zernike梯度折射率模型 | 第99-102页 |
| 4.2 折射率均匀性公差的补偿 | 第102-108页 |
| 4.2.1 旋转补偿的数学模型 | 第103-105页 |
| 4.2.2 仿真实验 | 第105-108页 |
| 4.3 热像差补偿 | 第108-121页 |
| 4.3.1 不同照明模式下的热像差 | 第109-110页 |
| 4.3.2 热像差的补偿方法 | 第110-112页 |
| 4.3.3 传统照明模式的热像差补偿 | 第112-114页 |
| 4.3.4 环形照明模式的热像差补偿 | 第114-117页 |
| 4.3.5 四极照明模式的热像差补偿 | 第117-119页 |
| 4.3.6 偶极照明模式的热像差补偿 | 第119-121页 |
| 4.4 本章小结 | 第121-122页 |
| 第5章 高NA投影光刻物镜的偏振像差研究 | 第122-146页 |
| 5.1 NA 1.35 投影光刻物镜偏振像差的定量分析 | 第122-126页 |
| 5.2 偏振像差在视场上的分布规律 | 第126-137页 |
| 5.2.1 基本公式的推导 | 第126-129页 |
| 5.2.2 旋转对称的光学系统 | 第129-132页 |
| 5.2.3 M-fold光学系统 | 第132-137页 |
| 5.3 视场-方向Zernike多项式的仿真验证 | 第137-144页 |
| 5.3.1 仿真流程 | 第137页 |
| 5.3.2 旋转对称的投影光刻物镜 | 第137-140页 |
| 5.3.3 含CaF2材料的投影光刻物镜 | 第140-142页 |
| 5.3.4 显微物镜 | 第142-144页 |
| 5.4 本章小结 | 第144-146页 |
| 第6章 总结与展望 | 第146-148页 |
| 6.1 工作总结 | 第146-147页 |
| 6.2 主要创新点 | 第147页 |
| 6.3 工作展望 | 第147-148页 |
| 参考文献 | 第148-158页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第158-160页 |
| 指导教师及作者简介 | 第160-162页 |
| 致谢 | 第162页 |