| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第1章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-17页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第13-14页 |
| 1.1.2 大面积衍射光栅需求 | 第14-17页 |
| 1.2 相关领域研究现状 | 第17-26页 |
| 1.2.1 大面积衍射光栅制作技术及现状 | 第17-24页 |
| 1.2.2 激光光束稳定性研究现状 | 第24-25页 |
| 1.2.3 激光光束质量评价研究现状 | 第25-26页 |
| 1.3 主要研究内容和结构安排 | 第26-29页 |
| 1.3.1 论文主要内容 | 第26-27页 |
| 1.3.2 论文结构安排 | 第27-29页 |
| 第2章 扫描干涉场曝光系统原理、组成与工作方式 | 第29-45页 |
| 2.1 引言 | 第29-30页 |
| 2.2 扫描干涉场曝光系统原理 | 第30-35页 |
| 2.2.1 扫描干涉场曝光基本原理 | 第30-32页 |
| 2.2.2 步进间隔与扫描速度 | 第32-35页 |
| 2.3 扫描干涉场曝光系统组成 | 第35-39页 |
| 2.3.1 扫描干涉场曝光系统结构 | 第35-37页 |
| 2.3.2 电子学系统 | 第37-39页 |
| 2.4 系统工作模式与扫描曝光流程 | 第39-44页 |
| 2.4.1 系统工作模式 | 第39-41页 |
| 2.4.2 扫描干涉场曝光系统工作流程 | 第41-44页 |
| 2.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 第3章 扫描干涉场曝光光路设计 | 第45-69页 |
| 3.1 引言 | 第45页 |
| 3.2 扫描干涉场曝光数学模型 | 第45-49页 |
| 3.3 干涉场尺寸设计 | 第49-58页 |
| 3.3.1 光斑尺寸对干涉条纹非线性误差影响 | 第49-54页 |
| 3.3.2 光斑尺寸对刻线误差的影响 | 第54-56页 |
| 3.3.3 光斑尺寸对曝光对比度的影响 | 第56-58页 |
| 3.4 系统光学透镜布局 | 第58-61页 |
| 3.4.1 理论计算 | 第58-59页 |
| 3.4.2 优化设计 | 第59-60页 |
| 3.4.3 系统光学元件布局 | 第60-61页 |
| 3.5 干涉场参数测量 | 第61-66页 |
| 3.5.1 光斑形貌测量 | 第61-62页 |
| 3.5.2 干涉条纹相位的非线性误差测量 | 第62-66页 |
| 3.6 本章小结 | 第66-69页 |
| 第4章 光学元件表面缺陷对高斯光束及干涉场质量影响 | 第69-89页 |
| 4.1 引言 | 第69-70页 |
| 4.2 缺陷调制模型建立及分析 | 第70-77页 |
| 4.2.1 高斯光束缺陷调制模型 | 第70-72页 |
| 4.2.2 高斯光束缺陷调制物理意义 | 第72-73页 |
| 4.2.3 光强调制项分析 | 第73-76页 |
| 4.2.4 调制后高斯光束模拟分析 | 第76-77页 |
| 4.3 缺陷调制模型扩展 | 第77-81页 |
| 4.3.1 轴外缺陷模拟 | 第78-79页 |
| 4.3.2 多缺陷调制模拟 | 第79-81页 |
| 4.4 光学元件表面缺陷对干涉场曝光系统的影响 | 第81-88页 |
| 4.4.1 干涉场缺陷调制分析 | 第81-83页 |
| 4.4.2 曝光对比度对光栅掩模槽形影响 | 第83-86页 |
| 4.4.3 全息光栅曝光系统中缺陷评价因子选择 | 第86-88页 |
| 4.5 结论 | 第88-89页 |
| 第5章 扫描干涉场曝光光束漂移误差及其控制技术 | 第89-107页 |
| 5.1 引言 | 第89页 |
| 5.2 光束漂移误差分析 | 第89-99页 |
| 5.2.1 光束角度漂移对扫描曝光的影响 | 第89-96页 |
| 5.2.2 低频线性漂移对曝光对比度的影响 | 第96-99页 |
| 5.3 光束稳定系统设计 | 第99-102页 |
| 5.3.1 光束稳定系统简介 | 第99-101页 |
| 5.3.2 系统机械振动分析 | 第101-102页 |
| 5.4 实验结果与分析 | 第102-105页 |
| 5.5 结论 | 第105-107页 |
| 第6章 扫描干涉场曝光光束对准误差及其控制技术 | 第107-131页 |
| 6.1 引言 | 第107-108页 |
| 6.2 扫描干涉场曝光对准误差模型与分析 | 第108-112页 |
| 6.2.1 扫描干涉场曝光对准误差模型 | 第108-110页 |
| 6.2.2 扫描干涉场对准误差对于曝光对比度的影响 | 第110-112页 |
| 6.3 光束自动对准系统设计 | 第112-116页 |
| 6.3.1 光束自动对准系统简介 | 第112-113页 |
| 6.3.2 对准系统测量原理与设计 | 第113-115页 |
| 6.3.3 光束自动对准系统设计及调整原理 | 第115-116页 |
| 6.4 光束自动对准算法收敛性分析 | 第116-125页 |
| 6.4.1 光束迭代对准算法模型 | 第116-120页 |
| 6.4.2 装调误差对于系统的影响分析与模拟 | 第120-125页 |
| 6.5 对准系统实验与分析 | 第125-127页 |
| 6.6 扫描曝光光栅的制作 | 第127-128页 |
| 6.7 结论 | 第128-131页 |
| 第7章 总结与展望 | 第131-133页 |
| 7.1 论文工作总结 | 第131-132页 |
| 7.2 展望 | 第132-133页 |
| 参考文献 | 第133-141页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第141-143页 |
| 指导教师及作者简介 | 第143-145页 |
| 致谢 | 第145-146页 |